光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。共晶前可使用微波等离子清洁基板与焊料表面，增加焊料的浸润性。北京晶圆等离子清洗机常用知识
Plasma封装等离子清洗机，顾名思义，其主要在于利用等离子体（Plasma）这一高能态物质对材料表面进行深度清洁与改性。在真空环境下，通过高频电场激发工艺气体，使其电离形成等离子体。这些等离子体中的高能粒子、自由基等活性物质，能够迅速与材料表面的污染物发生反应，将其分解为挥发性物质并被真空泵抽走，从而实现表面的深度清洁。同时，等离子体还能与材料表面分子发生化学反应，引入新的官能团，实现表面改性。相比传统清洗方法，Plasma封装等离子清洗机具有无需化学溶剂、无废水排放、环保节能、处理速度快、效果明显等优势。重庆国产等离子清洗机厂家推荐等离子处理是一种常用的表面处理技术，通过在介质中产生等离子体，利用等离子体的高能离子轰击表面。
操作等离子清洗机时，首先需要根据待处理材料的性质和清洁要求，选择合适的清洗气体和工艺参数。接下来，将待处理材料放置在清洗室内，并关闭室门以确保清洗环境的密闭性。随后，启动电源，使清洗室内产生等离子体。在等离子体的作用下，材料表面逐渐被清洁和改性。此过程中，需要密切监控清洗室内的温度、压力、气体流量等参数，以确保清洗效果的稳定性和一致性。清洗完成后，关闭电源，待清洗室内恢复常温常压后，方可打开室门取出材料。在操作过程中，还需注意以下几点：一是确保清洗室内的清洁度，避免引入新的污染源；二是选择合适的清洗时间和功率，避免过度清洗导致材料表面损伤；三是注意操作安全，避免直接接触高压电源和高温部件。
等离子清洗机利用高能粒子与有机材料表层产生的物理学或化学变化，以解决活性、蚀刻工艺、除污等原材料表层问题。当待清洗的物体放置在等离子体发生器的工作区域内时，这些高能粒子和自由基等活性物质会与物体表面的污垢发生反应。这些反应可能包括电离、激发、解离等，从而产生大量的化学物质。这些化学物质可能包括氧化性物质如O2、O3、NOx等，还原性物质如H2、NH3等，以及其他活性物质如CO、CO2等。这些活性物质与物体表面的污垢发生反应，将其分解成较小的分子或原子，并将其从物体表面解离。同时，等离子体的高速气流也有助于将污染物从表面冲刷掉，实现彻底清洗的目的。等离子体就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等目的。
随着集成电路技术的发展，半导体封装技术也在不断创新和改进，以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案，能够满足先进半导体封装的要求，被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑，并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前，基板上如果存在污染物，银胶容易形成圆球状，降低芯片粘结度。因此，在DB工艺前，需要进行等离子处理，提高基板表面的亲水性和粗糙度，有利于银胶的平铺及芯片粘贴，提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量，降低成本。射频等离子清洗机以其高效、环保清洗的特点，成为了半导体、微电子、航空航天等行业的关键设备。江西低温等离子清洗机性能
宽幅等离子适用于各种平面材料的清洗活化，搭配等离子发生装置，可客制化宽幅线性等离子流水线设备。北京晶圆等离子清洗机常用知识
汽车内外饰件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型，在喷漆、粘接、涂覆工艺前，可使用等离子设备对汽车内饰件、仪表板、储物盒、天窗导轨、车灯等内外饰件进行表面活化，确保后续工艺质量。等离子表面处理具有处理效果均匀。无明火室温处理，材料不易烫坏变形、环保无污染和适用范围广等优点，在汽车产业中也起着不可或缺的作用。①塑料内饰件粘接前经等离子处理可实现表面活化，改善表面润湿性，确保粘接质量。②大尺寸弯曲、凹凸非平面的内饰件可使用真空等离子清洗机高效、均匀地进行表面活化处理，不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。北京晶圆等离子清洗机常用知识
