光刻机是半导体制造中的关键设备,其功能是通过光学投影方式,将掩模版上的集成电路图形精确转移到涂有光刻胶的晶圆表面,实现电路图形的图形化转移工序。在芯片制造流程中,光刻环节是蕞为复杂且成本高昂的工艺步骤,其成本占晶圆制造总成本的三分之一,耗时占比达到 40%-60%,直接决定了芯片的制程精度与生产良率。其关键原理是利用高能激光作为光源,光束穿透掩模版后,经过聚光镜系统进行 1/16 比例的缩小,随后精zhun聚焦于晶圆表面,使光刻胶发生感光反应,从而完成电路图形的高精度复制。相当于在头发丝上刻出一座城市的地图,其复杂程度和技术挑战可想而知,也对运行使用环境有极高的要求。机器设备运行、人员走动等因素也会产生微小振动,在半导体厂房的设计和施工过程中,需要充分考虑这些因素。山东静音精密温控
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高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品,主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成,为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环,控制系统对循环气流的每个环节进行处理,从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C,湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH,洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。
控制精度是衡量精密环控设备的关键指标,通常以温度和湿度的偏差值表示,如 ±0.1℃和 ±1% RH,偏差值越小,精密环控设备的控制能力越强。极测(南京)技术有限公司的精密环控设备运用自主研发的高精密控温技术,能达到 0.1% 的控制输出精度。同时,精密环控设备内部的温湿度均匀性也很重要,能确保各个位置的物品处于相同环境条件;而且在长时间运行中,精密环控设备的温湿度控制需保持稳定,波动范围越小越好,像极测的设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。 极测(南京)研发及设计团队,涵盖了产品经理、结构工程师、暖通、电气自控等各类专业人才。
在中国,随着制造业的快速发展和产业升级,半导体、航空航天、生物医药等领域对高精密环境控制设备的需求急剧增长。据市场研究机构QYResearch预测,全球高精密环境控制设备市场规模预计在未来五年内将以年均超过8%的复合增长率增长,到2028年将达到数十亿美元规模。在半导体领域,随着工艺向更高精度迈进,2nm工艺要求温度控制精度从±0.1℃提升至±2mK,全球晶圆厂每年在温度控制设备上的投入超过50亿美元;光电光学领域,高duan光学显微镜、量子光学实验等对温度控制精度要求极高;量子计算领域,量子比特对温度极为敏感,高精密环控舱是必需设备,未来5年需求可能呈指数级增长。同时,各国产业政策也推动了高精密环境控制设备市场的发展。美国《芯片与科学法案》、欧盟“欧洲量子旗舰计划”、中国《十四五集成电路产业发展规划》等政策的出台,为行业发展提供了良好的政策环境和资金支持。
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极测(南京)技术有限公司依托母公司南京拓展科技有限公司在实验室专业领域的沉淀,尤其是暖通及自控方面的专长,同时汇聚了30多名拥有15年以上经验的行业前列工程师,致力于为芯片半导体、精密光学、科研研发等领域提供定制化的高精密环境解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景,科学技术成果认定为国际先进水平。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,持续领跑超高精密环控技术革新。山东静音精密温控