极测(南京)微环境控制系统设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题,延长立式干涉仪使用寿命。同时,系统可实现百级以上洁净度控制,蕞高优于 ISO class3(设备工作区),避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹,为干涉仪营造超净工作空间。 智能功能助力运维极测微环境控制系统具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线,便于操作人员直观掌握环境变化。微环境控制系统数据自动保存且可随时导出,运行状态与故障状态同步记录,方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外,自动安全保护系统可实现故障自动保护,确保设备全天候稳定运行,减少因故障导致的测量中断。在精密测量领域,细动误差是一个关键问题,它主要由难以察觉的机械振动或外部干扰引起。湖南激光设备精密温控
打造高“温度精度”,避免热致误差温度是影响测量精度的首要因素。极测精密环控柜采用自主研发的高精度制冷/加热控制系统,能够实现高温度精度和稳定性。蕞高将内部环境温度波动控制在极小的范围内(±2mK),确保每一次测量数据的重复性与可靠性。超净空间,避免微粒污染除了温控精度,洁净度同样至关重要。悬浮微粒一旦沉积在晶圆或设备光学镜头上,将造成缺陷或信号干扰。极测环控柜内部可维持蕞高ISO1级的超高洁净环境,有效隔绝灰尘、颗粒物等污染物,为半导体量测设备提供干净的环境,保护昂贵的光学组件和敏感样品。智能集成,一站式环境配套我们的解决方案集成了精密温控、洁净控制、湿度控制(蕞高±0.3%RH)、及抗微振功能的综合环境配套系统。支持根据您设备的特定型号和工艺要求进行非标定制,匹配不同半导体量测设备的精密需求。设备智能管理系统提供7x24小时实时数据监控与记录,所有环境参数一目了然,数据可追溯,为质量分析和故障排查提供坚实依据。吉林光学元件精密温控在一些化学蚀刻工艺中,湿度过高或过低都会影响蚀刻速度和精度,蕞终影响芯片的良品率。
在高duan制造业的关键地带,纳米级芯片、微米级航空叶片、亚波长光学元件的精密制造,对生产环境提出了前所未有的严苛要求。其中,精密温控扮演着决定性角色——一丝微小的温度波动,都可能成为制约良率与性能的关键瓶颈。作为环境控制领域的关键要素,精密温控设备已从幕后走向前台,成为前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企业极测(南京)技术有限公司,凭借二十六载在实验室环境控制领域的技术积淀,推出颠覆行业的精密环控柜系列产品。其高达±0.002℃ 的温控精度与ISO Class 3级洁净度(每立方米≥0.1μm颗粒数≤1,000个),为半导体制造、航空航天、生物医药等战略新兴产业筑起了坚实的“科技堡垒”。
在半导体、光学、精密制造等领域,环境控制精度往往决定了技术突破的成败。极测(南京)技术有限公司作为高精密环境控制领域的创新者,依托深厚的技术积淀,推出了具有变革性意义的毫 K 级高精密环控舱解决方案,为行业发展注入新动能。极测(南京)技术有限公司成立于 2024 年,依托母公司在实验室专业领域,尤其是暖通及自控技术方面的深厚沉淀,致力于为芯片半导体、光学、精密制造、科研研发等领域提供定制化的高精密环境控制解决方案。公司现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板前列企业与国家重点实验室,在众多科研与生产场景中展现出的高精密环境控制技术实力。 同时,公司拥有自己的工厂,能够高效地将研发成果转化为实际产品,为客户提供高质量的设备和服务。此外,公司还组建了专业的售后服务团队,确保客户高精密环境控制设备稳定运行,全方wei提升客户满意度。极测(南京)高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。
极测的精密温控箱罩专为满足三坐标测量仪等精密设备的严苛环境需求而设计。其具备的 ±0.002℃高精密温度控制能力,犹如为三坐标测量仪构建了一个恒温 “堡垒”。精密温控箱罩运用自主研发的高精密控温技术,确保精密温控箱罩内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK(静态),温度水平均匀性小于 16mK/m。保证测量仪在长时间运行过程中始终保持稳定的测量精度,实现0.1% 的控制输出精度。除了温度控制,精密温控箱罩在湿度和洁净度方面同样表现。精密温控箱罩内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h,避免了因湿度问题导致的测量仪零部件生锈、电子元件短路等故障,延长了设备使用寿命。同时,该系统可实现百级以上洁净度控制,内部洁净度蕞高可优于 ISO class3(设备工作区),有效防止灰尘等微小颗粒附着在测量仪的光学部件或被测工件表面,避免对测量精度造成干扰。极测(南京)研发及设计团队,涵盖了产品经理、结构工程师、暖通、电气自控等各类专业人才。电磁屏蔽精密温控室
极测(南京)高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度。湖南激光设备精密温控
在半导体产业链中,温度波动是导致芯片缺陷的关键因素之一:
蚀刻与沉积环节:极紫外(EUV)光刻、等离子蚀刻等工艺需将温度波动控制在±0.01℃以内,若温度漂移超过阈值,可能导致刻蚀深度不均、薄膜应力开裂等问题;
晶圆生长与加工:硅单晶生长过程中,温度梯度变化会引起晶格缺陷,影响晶圆电学性能;
芯片测试环节:环境温度波动可能导致测试仪器误差增大,造成芯片分选误判。极测精密水冷冷冻水机组以±0.001℃控温精度(远超行业标准)及动态负载适应能力,精zhun解决上述痛点,成为半导体工艺的“温度守护者”。 湖南激光设备精密温控