在光学镜片研磨这一精细入微的工艺里，温湿度波动无疑是如影随形的 “大敌”，对镜片质量的影响堪称致命。就研磨设备而言，即便是零点几摄氏度的细微温度变化，也会迅速让研磨盘与镜片材料的热膨胀系数差异暴露无遗。这一差异会直接导致镜片在研磨过程中受力不均，研磨效果参差不齐，镜片的曲率精度因此大打折扣，进而严重影响其光学性能。而当处于高湿度环境时，空气中弥漫的水汽就像隐匿的破坏者，极易在镜片表面悄然凝结成水渍。这些水渍会在后续镀膜工艺中成为棘手难题，极大地干扰镀膜均匀性，致使镜片的透过率和抗反射能力双双下滑，成品镜片根本无法契合光学仪器所要求的严苛标准。精密环控设备为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。电子束曝光机环境品牌
我司凭借深厚的技术积累，自主研发出高精密控温技术，精度高达 0.1% 的控制输出。温度波动值可实现±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密环境控制。该系统洁净度可实现百级、十级、一级。关键区域 ±5mK（静态）的温度稳定性，以及均匀性小于 16mK/m 的内部温度规格，为诸如芯片研发这类对温度极度敏感的项目，打造了近乎完美的温场环境，保障实验数据不受温度干扰。同时，设备内部湿度稳定性可达±0.5%@8h，压力稳定性可达+/-3Pa，长达 144h 的连续稳定工作更是让长时间实验和制造无后顾之忧。在洁净度方面，实现百级以上洁净度控制，工作区洁净度优于 ISO class3，确保实验结果的准确性与可靠性，也保障了精密仪器的正常工作和使用寿命。光谱仪环境控制根据高精密行业用户的反馈，对产品进行持续优化，不断提升设备的适用性和稳定性。
芯片蚀刻时，刻蚀速率的均匀性对芯片电路完整性至关重要。温度波动如同 “蝴蝶效应”，可能引发刻蚀过度或不足。精密环控柜稳定的温度控制，以及可达 ±0.5%@8h 的湿度稳定性，有效避免因环境因素导致的刻蚀异常，保障芯片蚀刻质量。芯片沉积与封装过程中，精密环控柜的超高水准洁净度控制发挥关键作用。其可实现百级以上洁净度控制，内部洁净度优于 ISO class3，杜绝尘埃颗粒污染芯片，防止水汽对芯片材料的不良影响，确保芯片沉积层均匀、芯片封装可靠。
激光干涉仪用于测量微小位移，精度可达纳米级别。温度波动哪怕只有 1℃，由于仪器主体与测量目标所处环境温度不一致，二者热胀冷缩程度不同，会造成测量基线的微妙变化，导致测量位移结果出现偏差，在高精度机械加工零件的尺寸检测中，这种偏差可能使零件被误判为不合格品，增加生产成本。高湿度环境下，水汽会干扰激光的传播路径，使激光发生散射，降低干涉条纹的对比度，影响测量人员对条纹移动的精确判断，进而无法准确获取位移数据，给精密制造、航空航天等领域的科研与生产带来极大困扰。拥有超高水准洁净度控制能力，可达百级以上洁净标准。
精密环控柜主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环，控制系统对循环气流的每个环节进行处理，从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。该系统可实现洁净度百级、十级、一级，温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密环境控制。自面世以来，已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务，获得了众多好评。精密环境控制设备内部，关键区域静态下温度稳定性高，可达 +/-5mK 精度。电子束曝光机环境品牌
高精密环境控制设备由主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统等组成。电子束曝光机环境品牌
在芯片这一高科技产品的复杂生产流程里，众多环节对温湿度的波动展现出了近乎苛刻的精密度要求。光刻过程中，利用高精度的光刻设备，将预先设计好的复杂电路图案转移至硅片表面。温度的稳定性起着决定性作用，哪怕有零点几摄氏度的微小波动，都会使光刻胶内部的化学反应速率产生偏差。光刻胶作为一种对光敏感的高分子材料，其反应速率的改变将直接作用于光刻成像效果，致使图案边缘模糊、线条粗细不均，进而让芯片上的线路出现偏差，甚至引发短路故障，让前期投入的大量人力、物力和时间付诸东流。与此同时，湿度因素同样不可小觑。光刻车间若湿度偏高，水汽极易渗透至光刻胶内部，使其含水量上升，感光度随之降低，如同给精密的 “光刻镜头” 蒙上一层雾霭，严重影响光刻精度，导致芯片良品率大打折扣，大幅增加生产成本。电子束曝光机环境品牌
