丽水高精度传感器智能充氮氮气柜安全警报

    全功能洁净氮气柜：产品应用：适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标：1）洁净等级专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@）。2）TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3）降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机：采用进口无尘室FFU风机，面风速：～；5）静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6）柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。采用新一代温湿度传感器，精度更高，十年内免校准。丽水高精度传感器智能充氮氮气柜安全警报

    防静电防氧化氮气柜表面处理采用先进的自动涂装线喷涂.严格的表面处理.led氮气柜,釆用防静电粉未喷涂，耐腐蚀性极强.电阻值为10的6次方-10的9次方欧姆，采用专业的防静脚轮.接地线.搭地金属链.氮气节约装置，当箱内湿度到达设定值时，系统会自动切断氮气供应，,氮气储存柜,当超过设定值时，系统会智能打开氮气供应。相比市场其他直充氮气柜可节约50%以上氮气消耗量。大幅程度降低使用成本。智能化控制系统釆用与电子防潮箱相同智能化控制系统。可设定并自动采集箱内湿度来决定氮气供气阀的通断.从而节省氮气，延长产品使用寿命。产品的扩展防氧化氮气柜可扩展成氮气防潮组合柜.在不通氮气的情况下.可当作电子防潮箱使用.从而节约了投资及使用成本。不锈钢氮气柜承接各类非标柜，柜体材料可选用不锈钢.柜体颜色可根椐客户要求定喷。中山全自动氮气柜维修维护自动恒压，恒流，氮气流量可根据用量实现全自动调节。

    氮气发生器的工作原理2.膜分离制氮高压空气通过中空纤维膜组件，氮气分子和氧气分子的扩散速度差别积累，在膜组件输出端形成高纯度的氮气，形成的产品气纯度高可达99%，气体流量>5000ml/min，并且可以累加使用，不影响产品质量，在不考虑其它限制条件的情况下，气体装置可以无限扩充。这种制氮方法膜分离制氮在工业上有不少的应用，在实验室主要用于对气体纯度要求不特别高的吹扫、保护、对氧气的置换等。这类发生器的主要优点是流量大，实验室级别产品一般在50L/min上下，并可随意扩充，同时寿命长，膜组件作为核部件，在空气源稳定的情况下，寿命可达10年，且维护成本极低；缺点是氮气纯度不能达到高纯级，膜组件目前均为进口，国内不能提供，成本较高，仪器价格也相对高。

    用变压吸附法分离空气可以得到富氧空气和，耗电量均小于。用变压吸附法分离空气具有能耗低、流程短、开停车时间短、自动控制、产品浓度可调等等优点，可望有较大的发展。膜法分离空气利用的是渗透原理，即氧气和氮气在非多孔高分子膜内的扩散速率不同。当氧气和氮气吸附在高分子膜表面时，由于膜两侧存在着浓度梯度，使气体扩散并通过高分子膜，接着在膜的另一侧解吸。因为氧气分子的体积小于氮气分子，因而氧气在高分子膜内的扩散速率大于氮气，这样，当空气通入膜的一侧时，在另一侧就可以得到富氧空气，同一侧得到氮气。用膜法分离空气可以连续得到氮气和富氧空气。目前的高分子膜对氧、氮分离的选择性系数只有，渗透系数也较小。分离得到的产品氮气浓度为95～99%，氧气浓度为30～40%。膜法分离空气一般是在常温和压力为～×106pa的条件下操作的。根据客户要求配备温湿度监控系统，电脑连接监控系统，温湿度数据记录存档。

    制氮机设备特点（1）产氮气方便快捷：先进的技术，独特的气流分布器，使气流分布更均匀，高效地利用碳分子筛，20分钟左右即可提供合格的氮气。（2）使用方便：设备结构紧凑、整体撬装，占地小无需基建投资，投资少，现场只需连接电源即可制取氮气。（3）比其它供氮方式更经济：PSA工艺是一种简便的制氮方法，以空气为原料，能耗为空压机所消耗的电能，具有运行成本低、能耗低、效率高等优点。（4）机电一体化设计实现自动化运行：进口PLC控制全自动运行，氮气流量压力纯度可调并连续显示，可实现无人值守。（5）运用范围广：金属热处理过程的保护气，化学工业生产用气及各类储罐、管道的充氮净化，橡胶、塑料制品的生产用气，食品行业排氧保鲜包装，饮料行业净化和覆盖气，医药行业充氮包装及容器的充氮排氧，电子行业电子元件及半导体生产过程的保护气等。纯度、流量、压力稳定可调，满足不同客户的需要。附脚轮及支架方便移动及定位。潮州现代氮气柜WMS管理

采用进口高精度传感器，温度显示精度±3%RH，温度显示精度±1℃。丽水高精度传感器智能充氮氮气柜安全警报

    变压吸附法分离空气的机理有两种。一种是利用5a沸石分子筛的选择吸附特性，即5a沸石分子筛对氮气的平衡吸附量大于对氧气的平衡吸附量，这样当空气通过沸石床层时氮气就被吸附，流出氧气作为产品。当沸石吸附氮气饱和后，停止通入空气，并把床层抽成真空，抽出的氮气作为产品。另一种是利用碳分子筛的运态吸附特性，即碳分子筛对氧气和氮气的平衡吸附量相差不大，但由于氧气的分子尺寸(×)比氮气的分子尺寸(×)小，因而氧气在碳分子筛中的扩散速度快，吸附量也大，于是氧气在碳分子筛中的扩散速度快，吸附量也大，于是氧气被吸附，流出氮气作为产品。隔一段时间后，停止通入空气，把床层抽真空使碳分子筛再生。该法通常是在吸附阶段为～×106pa、解吸阶段为常压或真空及常温的条件下进行的，在工业上很容易实现。丽水高精度传感器智能充氮氮气柜安全警报

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