AMC)作为IC工厂所关心的问题于20年前先由日本人提出,近年来,世界IC技术发展迅速,IC芯片日益微型化。AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要多,粒子污染控制只需要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及传送系统等的影响。更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子残余对下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生产过程中的某些加工工序及工序间的材料传送和存放环境中,AMC已成为严重影响成品率的重要问题,AMC分子控制技术成为洁净工程设计与施工建设的主流趋势。目前,国内的洁净工程企业中已经开始从事此方向的研究,在该领域比较的企业有亚翔集成,在分子净化技术方面该公司已经走在了同行业的前列,而中国电子工程设计院则在防微震方面技术。在净化工程中,应建立严格的洁净室管理制度和操作规范,确保洁净室的长期稳定运行。制药净化工程安装
往往须耗时相当长一段时间。层流式。Laminar)等级名称等级限值μmμmμmμm5μm容积单位容积单位容积单位容积单位容积单位国际单位英制单位mFtmFtmFtmFtmFt35010////00//10////100//0////283//1000//////77//////1810000//////247070//////000////////////0层流式空气气流运动成一均匀之直线型,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用,一般其洁净室等级为Class1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。复合式。实验室净化工程公司净化工程中的空气过滤系统应定期检测和评估,以确保其过滤效果始终符合要求。
洁净技术又称为生产环境和污染控制技术,是近些年随着高新技术发展起来的一门综合性的新兴科学技术。洁净技术通常包括:空气净化技术、空调技术、水纯化技术、气体纯化技术、微量杂志控制技术、洁净环境的检测技术及相关的环境的控制技术。净化工程技术在电子、核子、航空航天、生物工程、制药、精密机械、化工、食品、汽车制造等高科技工业领域及现代科学领域中得到应用。随着我国科技水平的提高,人民生活水平也提升。人们对生活质量及生活环境抱有越来越高的要求,如:空调净化系统设备、水净化设备、空气净化器等净化工程技术已经开始步入千家万户,进入人们的现代生活。特别在电子行业发展中更能体现出科技水平的提升速度,电子逐渐微型化,质量化,完美化给我们带来了快捷,方便,耐用的时代。净化工程技术在某种意义上已经成为衡量国家和工业的一个重要标志。发展趋势竞争方向转变由价格竞争转变为价值竞争。随着电子产品的集成化、密化、微型化、功能化等趋势,对元器件的可靠性要求越来越高,电子信息制造业对洁净室的要求标准也更加严格。微量的脏污或微弱的静电都有可能造成元器件产品良品率的大幅降低,直接影响公司的效益。
阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一净化车间内。●确定集中或分散式净化空气调节系统时,应综合考虑生产工艺的特点和净化车间空气的洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、无尘室或净化车间面积较大时,位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室,宜采用集中式净化空气调节系统。●净化空气调节系统如需电加热时,应选用管状电加热器,位置应布置在高效空气过滤器的上风侧,并应有防火安全措施。●送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择,中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。●净化工程中净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,应采取防止室外污染空气通过新风口参入净化车间内的防灌倒措施。●净化空气调节系统设计应合理利用回风,凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。净化工程中的洁净室应定期进行能效评估和节能优化,降低生产成本。
吊顶高度为,如果是万级,送风量就需要300××30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300××20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。光学微电子行业净化工程设计方案分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。净化工程中空气净化处理方案●净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。●空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端,高效空气过滤的安装方式应简便可靠,宜检漏和更换;中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用。净化工程,专注打造无尘洁净空间,为产品质量保驾护航。制药净化工程安装
在净化工程中,洁净室的墙壁和天花板应使用无缝拼接材料,减少尘埃积聚的可能。制药净化工程安装
3、测点布置:①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。②层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为,粒径大于或等于μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点布置一洁净工作区内。③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米,增加3-5个测点。4、数据整理:①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。②对于大于或等于μm的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点大值,乱流洁净室取各测点的平均值。(四)正压值测定应采用精度可达。三、动态测试在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法同空态、静态测试。等级级别等级的划分一般在洁净室是有等级的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同的空气洁净度等级,依据工序要求确定等级。医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参照《药品生产质量管理规范》中制剂和原料药工艺内容及环境区域划分而定。药品生产洁净室的空气洁净度划分为四个等级。在满足生产工艺要求的前提下,首先应采用低洁净等级的洁净湿或局部空气净化。制药净化工程安装