机械手放置在平台的平面上,并在机械手中插入探针臂和先进。探头先进必须适合要执行的测试程序。然后,用户通过调整相应的操纵器将探针先进精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触;现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆,在测试头一个器件后,可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针先进的过程,直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成,但如果载物台和机械手是电动的,并且显微镜连接到计算机视觉系统,那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量,并减少运行多个测试所需的劳动力。探针台的观测和研究任务需要具备高水平的科研和管理人才。北京双层位移探针台平台
探针台是晶圆输送与定位任务的承担者,检测半导体芯片电、光参数的关键设备。CP 测试环节中,探针台首先将晶圆移动至晶圆相机下,确定晶圆的坐标位置;再将探针相机 移动至探针卡下,确定探针卡的坐标位置,当确定二者位置后,即通过载片台将晶圆移动 至探针卡下实现对针。其按不同功能可以分为高/低温探针台、RF 探针台、LCD &TEG探针台、光电探针台等,当晶圆依次与探针接触完成测试后,探针台记录参数特性不符合要求的芯片, 并在进入后序工序前予以剔除,以保障质量与可靠性,降低器件的制造成本。广东8寸探针台价位探针台的建设需要科学家们共同汇聚自己的智慧。
探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入较终产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。
探针台,是我们半导体实验室电学性能测试的常用设备,也是各大实验室以及芯片设计、封装测试的熟客。设备具备各项优势,高性能低成本,用途广,操作方便,在不同测试环境下,测试结果稳定,客观,深受工程师们的青睐。探针台主要用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节,负责晶圆的输送与定位,确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试,实现更加精确的数据测试测量。半导体测试设备主要包括测试机、探针台和分选机。在所有的测试环节中都会用到测试机,不同环节中测试机需要和分选机或探针台配合使用。探针台的科学研究成果对推动人类的科学技术进步有着举足轻重的作用。
探针测试台x-y工作台的分类,纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为表示的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。探针台提供了探索宇宙的有效途径。北京双层位移探针台平台
探针台能够探测人类目前尚未发现的天文现象。北京双层位移探针台平台
四探针测试技术,是用4根等间距配置的探针扎在半导体表面上,由恒流源给外侧的两根探针提供一个适当小的电流I,然后测量出中间两根探针之间的电压V,就可以求出半导体的电阻率。对于厚度为W(远小于长和宽)的薄半导体片,得到电阻率为ρ=ηW(V/I),式中η是修正系数。特别,对于直径比探针间距大得多的薄半导体圆片,得到电阻率为ρ= (π/ln2)W(V/I)= 4.532 W(V/I) [Ω-cm],其中W用cm作单位。探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。北京双层位移探针台平台