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因此，即使外腔体10与内反应腔20在气路上相互连通，但外腔体10中的污染物也很难进入到内反应腔20中，从而可以保证内反应腔20始终保持清洁的工艺环境。由此，外腔体10与所述内反应腔20可共用一套抽真空系统。由于外腔体10与内反应腔20之间应属于相互连通的气路环境，因此，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20也同时进行抽真空处理。本实施方式中，自动门设置于所述第二侧壁22上，所述外腔体10内设有传送装置13，所述工件自所述传送装置13经所述自动门23传递至所述内反应腔20中。自动门控制器控制自动门的启闭。抽真空完成后，自动门控制器检测传送装置上是否有工件存在，经检测若有工件存在，则控制自动门打开，工件在传送装置的作用下进入内反应腔中;然后自动门控制器再控制自动门关闭。可以理解的是，传送装置包括转动轴和套设在转动轴上的传送带，以及驱动转动轴旋转的驱动机构，例如电机。其中，传送带的设置高度与内反应腔中的工件反应载台相对应。继续参照图2，为了保证作为工艺区域的内反应腔20的环境温度恒温可控，第二底板21和/或所述第二侧壁22上设有用于对所述内反应腔20进行控温的温控装置，以使内反应腔20内的温度始终处于所需的工艺温度范围内。

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以专门作为工艺反应的内反应腔20。宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12、第二底板21和第二侧壁22均可由金属材料组成，其中，第二底板21和第二侧壁22则优先选用热传导效果较好的金属材料组成，例如可选不锈钢或铝合金等材料。除上述结构形式外，外腔体10和内反应腔20还可以共用一个底板，真空镀膜设备用一圈隔离板对外腔体10进行分割即可。但为了将内反应腔20的空间尽可能地缩小到所需范围，且真空镀膜设备大限度地降低非必要的空间，该实施方式中设置了宝来利真空底板11和第二底板21相互分离的设置结构，以在垂直方向上缩小内反应腔20的空间。其中，宝来利真空底板11、宝来利真空侧壁12和密封盖板30三者相互密闭连接共同构成了与外部大气隔离的具有封闭结构的外腔体10。而内反应腔20则位于该外腔体10之内，但是第二侧壁22与密封盖板30之间并未形成封闭式接触，两者之间属于分离式设计结构。该结构也就使得外腔体10与内反应腔20之间在仍属于相互连通的结构构造，用该结构可以将真空设备中的部分构件分离，将工艺过程中非必要的机械结构部件设置于外腔体10中，而与工艺反应相关的结构部件设置于内反应腔20中。在工艺反应过程中，由于工艺反应区的压力要大于外腔体10中的压力。 品质真空镀膜设备，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以电话联系我！眼镜片真空镀膜设备规格

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结合图1和图2所示，顶盖22远离镀膜机1一侧设有动触点224；第二连接套2内侧壁上设有静触点123，静触点123位于宝来利真空凹槽21与抽气管3之间；动触点224与外部电源电性连接；静触点123与气缸53电性连接；利用动触点224与静触点123的接触来控制气缸53的运行，防止气缸53长时间运行，节约能源。在进一步的实施例中，结合图1所示，镀膜机1靠近出气管11的侧壁上设有开关13及换向器；开关13分别与换向器及真空泵4电性连接；换向器与电磁铁122电性连接；利用换向器改变电磁铁122电流的方向来改变磁极，进行顶盖22的打开与闭合。在进一步的实施例中，结合图4所示，顶盖22侧壁上设有凹孔225；便于在抽气时气体的排出。应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。 浙江手表真空镀膜设备设备厂家