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进一步地，所述第二底板内和所述第二侧壁内均设有用于穿设温控管的通道，所述温控管埋设于所述通道内。一种真空镀膜设备，包括机械模块部件、工艺模块部件和本实用新型所述的真空反应腔室，所述工艺模块部件位于所述内反应腔内，部分所述机械模块部件位于所述外腔体内。本实用新型实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下***：本实用新型提供的真空反应腔室，包括用于提供真空环境的外腔体，以及位于所述外腔体内的用于进行工艺反应的内反应腔；并且，内反应腔的侧壁上设有自动门，工件自外腔体经自动门进入内反应腔中。其中，外腔室和内反应腔为嵌套结构，其内反应腔位于外腔室内。该结构中，相当于设置了两个腔室，其中外腔体用于提供真空环境，而工艺反应则在内反应腔中进行。由于采用双腔室结构，可以将工艺模块部件设置于内反应腔中，而与工艺反应无直接关系的机械模块部件则被设置于外腔室中。经抽真空处理后，位于外腔体中的工件再经自动门进入内反应腔中进行工艺反应，可以有效避免设备杂质和工件杂质进入内反应腔中。该结构可以避免工艺环境外的污染源进入工艺反应区域，避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔相对较小。 浙江900真空镀膜设备生产企业品质真空镀膜设备膜层亮度高，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！

如图3所示，所述温控装置包括温控管40，所述温控管40连接位于外腔体10外的恒温控制器41。温控管40的引入口及引出口与外部的恒温控制器41连接，恒温控制器41可用于恒温制冷也可用于恒温加热，保证内反应腔20中的温度可以持续恒定，从而使工艺反应区域内的工艺环境温度更稳定。经过在真空镀膜设备上的实际应用验证，该真空腔体对于工艺成膜质量及镀膜均匀性均有十分有效的改善和提升。其中，温控管40包括加热管和/或冷却管。一般情况下，在工艺反应过程中，通常需要升温以完成相关的工艺反应，因此，温控管40包括必要的加热管，而冷却管可以根据实际的工艺需要选选择性地添加即可。例如，若在工艺反应过程中，需要进行快速降温，此时可以设置冷却管。所述加热管非限制性地例如可以为电加热管、水加热管或油加热管。冷却管例如可以为水冷却管或油冷却管。为了增加温控效果，第二侧壁22和第二底板21处均设有温控管40。其中，所述温控管40缠绕于所述第二侧壁22的外部，且所述温控管40铺设于所述第二底板21的底部。除上述缠绕方式外，还可以用埋设的方式铺设加热管，例如，所述第二底板21内和所述第二侧壁22内均设有用于穿设温控管40的通道，所述温控管40埋设于所述通道内。

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