江苏硬质涂层真空镀膜机是什么

本实用新型涉及真空设备领域，尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术：目前，真空设备，例如，pecvd（plasmaenhancedchemicalvaporde****ition，等离子体增强化学气相沉积）和pvd（physicalvaporde****ition，物宝来利相沉积）设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中，如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室，传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内，这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭，容易造成工艺环境污染。另外，设置单个反应腔室时，由于工艺反应区域较大，容易造成工艺所需原料的浪费，同时，还会造成工艺反应过程中温度波动大，不可控因素较多，从而影响工艺过程。技术实现要素：本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室，以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：一种真空反应腔室，包括：用于提供真空环境的外腔体。品质真空镀膜机，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，可镀玫瑰金，有需要来咨询！江苏硬质涂层真空镀膜机是什么

避免工艺污染，提供工艺质量。由于设置双腔室，作为工艺反应区的内反应腔20相对较小，因此可以有效减少工艺原料的浪费，降低原料的使用成本，提高原料的利用率。同时，由于工艺反应区的减少，可以有效控制该区域内的温度，使该区域内的工艺温度更易于均匀化，进而提高工艺质量。需要说明的是，内反应腔20位于外腔体10内，但内反应腔20和外腔体10处于可连通状态，并非完全隔绝，当对外腔体10进行抽真空处理时，内反应腔20内也同时进行抽真空操作。外腔体10和内反应腔20处于相互连通的状态，只是在外腔体10内划分出了一个立体空间以进行工艺反应。本实施方式中，参照图2，所述外腔体10包括宝来利真空底板11和沿所述宝来利真空底板11周向设置的宝来利真空侧壁12；所述内反应腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向设置的第二侧壁22；所述宝来利真空底板11与所述第二底板21相互分离设置，所述宝来利真空侧壁12与所述第二侧壁22相互分离设置；宝来利真空侧壁12与盖设于所述宝来利真空侧壁12上的密封盖板30密闭连接，所述第二侧壁22与所述密封盖板30相互分离设置。该结构中，相当于用第二底板21和第二侧壁22在外腔体10中分割出一个更小的空间。上海装饰真空镀膜机生产厂家品质真空镀膜机膜层亮度高，请选丹阳市宝来利真空机电有限公司，有需要可以来咨询考察！

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然后将基板2推入两个限位板10之间的限位槽内，并关闭密封门5，打开抽风机21，将腔体1内的空气抽出，通过控制面板使加热器工作通过加热板14加热坩埚3进行镀膜，镀膜完成后，使宝来利真空伸缩杆10工作，带动活动板9运动，使坩埚3运动至防护框7内，然后第二伸缩杆11工作，推动宝来利真空密封盖12和第二密封该13发生运动，使防护框7密封，然后即可打开密封门5将基板取出或换面继续覆膜。需要说明的是，在本文中，诸如宝来利真空和第二等之类的关系术语宝来利宝来利用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不宝来利包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。宝来利激光雷达真空镀膜机性能稳定，膜层均匀耐磨，细腻有光泽，有需要可以来咨询！

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