真空泵机组拆除维修：①堵截电源，拔下电源插头。该泵如在体系上，应当从设备上取下。②拧开放油螺栓放油，用手盘动皮带轮，使泵腔内余油悉数放出。油应搜集好，一般是在机械泵底板下放一铁制油盘或磁盘等(通称方盘)搜集，以便于往后蒸馏收回和免于污染环境。③拆下皮带，卸下皮带轮、键，脱开底板，视电机好坏程度(如发热、过脏、有干磨的噪音，振荡较大等)应予修补或送电工洗油修补。④先拆低真空端盖板(后端盖板，即远离泵轮的一端)，拆开时依据不同螺钉运用不同的工具。关于一般六角螺钉可用呆扳手，内六角螺钉要用内六角扳手，必要时要运用套筒扳手，这样不会损坏螺钉。拧初步盖板螺钉后，轻启端盖板。端盖板如密合得很紧，则应渐渐设法起开。例如，可用锉刀在泵腔与端盖板合缝处锉一小槽，然后用起子(改锥)插于小槽处用手敲起子把手，亦可用小锤轻敲起子以退出端盖板，切不行重锤击打。⑤用橡皮垫圈密封的则取下橡皮垫圈，退出定位销。真空泵机组的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强请求。西安真空泵风扇
低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵,分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等。一般情况下,低真机组中的主泵均能直接排大气。使用低真空抽气机组,还需要根据被抽气体的清洁程度、湿度或其他特殊要求，配置必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干燥或挡油阱等部件。油封机械泵加上挡油阱的抽气机组 , 适用于化学气相沉积装置、真空包装、医药工业等领域。油封机械泵加上挡油阱的抽气机组 , 适用于化学气相沉积装置、真空包装、医药工业等领域。真空泵端口盖真空泵机组的定期检查，不但可以增加寿命使用，而且还能有效减少故障的发生。
如果发现真空泵机组中的真空室内的铁基零部件上会明显锈蚀的现象的时候。基本可以确定它发生了内漏的现象。这个时候，要注意应该要先把内壁进行清理干净，接下来，要通冷却水，看它有没有无湿润点，它的湿润处就是它的漏点。真空泵机组小漏和微其实也就是比较难查，常用的方法是要利用它在高真空状态下电离管对于某些气体反应敏感来进行检漏。比较常见是指或者是乙醇，可以用医用注射器直接的就向可疑的地方进行喷射或者是乙醇，当喷到漏点的时候，我们就会发现对于电离计的指针上会有比较明显的摆动。
真空机组是将真空泵与相应的真空元件按其性能要求组合起来构成的抽气装置。其特点是结构紧凑,安装使用方便。真空抽气机组可以分为低真空抽气机组、中真空机组、高真空机组、超高真空机组、无油真空机组等。真空机组的名称以主泵命名，如：扩散泵机组、分子泵机组等。低真空抽气机组的工作压力范围约在 1330～100 Pa 之间, 其主要特点是工作压力高、排气量大,但抽速比中、高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气( 钢水处理) 等装置中。真空泵机组与罗茨真空泵组成机组真空度可达1~600Pa。
真空机组真空泵选型中，真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。正确地组合真空泵。因为各种真空泵的性能不同，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的真空泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等，或在泵的进气口管道上安装辅助设备。真空泵机组适用于恶劣环境，工况下使用。西安真空泵风扇
真空机组近几年来随着真空冶金、真空热处理、真空冷冻干燥、真空镀膜等各种领域的发展需要而得到迅速发展。西安真空泵风扇
旋片真空机组：是以旋片真空泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵,因此旋片泵机组普遍地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、无化学反应性的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。西安真空泵风扇
