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本发明涉及一种半导体制造技术,尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。 背景技术: 在半导体加工设备中,经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送,在传送的过程中,传送精度越...
装配机械人 ;这灯机械臂要有较高的位姿精度,手腕具有较大的柔性。目前大多用于机电产品的装配作业。⒌专门用途的机械臂 如医用护理机械臂、航天用机械臂、探海用机械臂以及排险作业机械臂等。三、按操作机的位置...
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。 适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运...
耐磨陶瓷片除应用于燃煤电厂除灰、排渣管、送粉、回粉管,脱硫管道外,还大量用于以下行业: 金属矿山:精矿和尾矿的输送耐磨弯头; 冶金:钢铁厂的炼铁的高炉喷煤、输渣等管道;CAO、锌碚砂输...
陶瓷耐磨胶泥的保质期通常是指涂料产品在正常的贮存条件下能够正常施工,并且在施工后能够保证涂料正常性能的贮存期限。一般来说,大部分涂料产品在其说明书中规定的保质期是12个月,易沉淀和在贮存过程中存在缓慢...
输送半导体晶圆的机械手通常具有两个以上的自由度。这种机械手典型地由两个连杆和手部构成。在本说明书中,将两个连杆称作上臂连杆和前臂连杆。典型地,上臂连杆的一端连结于电机的输出轴,上臂连杆的另一端连结于前...
微晶耐磨氧化铝衬砖特点:(1)微晶耐磨氧化铝衬砖要成分为***氧化铝,纯度高,大为减小对研磨物料造成的污染。(2)耐磨性能强,耐磨性能是锰钢的266倍,有效延长设备使用使用期限长(3)与高铝球搭配磨出...
电动式 电力驱动是目前机械臂使用得**多的一种驱动方式。其特点是电源方便,响应快,驱动力较大(关节型的持重已达400公斤),信号检测、传递、处理方便,并可以采用多种灵活的控制方案。驱动电机一般采用步进电...
水热-热静压工艺 该工艺通过水作为压力传递介质制备各种孔径多孔陶瓷。其简单制备步骤为:硅凝胶和10%(质量百分数)的水混合,置于高压釜中(压力10—15MPa,温度300℃),通过水蒸汽的挥...
耐磨陶瓷涂料属于无机非金属材料,主要成分为硅酸盐和氧化铝,和地球岩石层成分相近,不会造成土质恶化和重金属离子污染,不会影响环境。 检测项目 检测数据 检测项目 检测数据 体积密度(g/cm3) 2...
有机泡沫浸渍工艺 有机泡沫浸渍法是用有机泡沫浸渍陶瓷浆料,干燥后烧掉有机泡沫,获得多孔陶瓷的一种方发泡工艺法。该法适于制备高气孔率、开口气孔的多孔陶瓷。这种方法制备的泡沫陶瓷是目前**主要的多...
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