硬质合金刀具涂层方法近半个世纪以来，为提升刀具性能刀具表面涂层技术已成为主流，镀层就像刀具的盔甲一样，具有强大的防护、耐酸、耐氧化抗磨耗等特性，能够提高刀具表面硬度与热稳定係数，并降低摩擦係数以提升切削速度，从而提高加工效率也提升刀具寿命。刀具涂层技术可分为CVD（化学）与PVD（物理）两大类：CVDCVD为化学气相沉积（chemicalvapordeposition），利用生产纯度高与效能佳的固态材料化学技术，被广泛应用在硬质合金可转为刀具的表面处理，像是半导体产业会使用此技术来成长薄膜。CVD是将反应源以气体形式通入反应腔中，经由氧化、还原与基板反应进行化学的反应，进而生成物藉由内扩散作用...

dlc涂层的缺点。传统的DLC涂层通常不到5微米，很容易被刮擦掉，远远达不到发动机的实际使用寿命。无论是在什么样的零件上使用，一般来说，在满足零件尺寸要求的前提下，涂层的厚度，尤其是DLC涂层的厚度往往是越厚越好，这样零件的耐磨性会相应提高。然而，一旦涂层的厚度增加，尤其是DLC层的厚度增加，就会导其内应力增大，影响涂层和基材结合力，导致涂层与基材剥离，这就对涂层的使用寿命和效率产生影响。因此，厚度及其表现出的耐磨性一直是应用上的一个瓶颈。但是这一问题随着涂层加工业的发展已经得到了克服，可以说，dlc涂层是一种性能良好的有着广阔应用前景及发展前景的涂层。以非燃油为燃料的新能源汽车发动机中，DL...

DLC类金刚石涂层的应用:DLC类金刚石涂层以它特有的优势应用于对摩擦和磨损有特殊要求的场合，而且得到了一直好评。1、模压成形领域：DLC类金刚石涂层技术可用于顶杆及各类镶件、模腔和型芯等。2、切削领域：可用于铣刀、钻头、硬质合金刀片等。3、引擎领域：活塞销、阀类、活塞、顶杆等。4、半导体领域：引脚成形模具的刀口件、封装模具的成形镶件和镶块等。5、金属材料成形领域：DLC涂层可用于凹模、凸模、压印成形、精密冲裁等。6、其他零部件：齿轮、轴类、凸轮、轴承和从动滚轮等零部件。液相沉积DLC涂层有哪些方法？两种方法效果好。广州DLC加工DLC涂层供应商DLC涂层目前可以通过很多种技术获得，但市面上常...

涂层刀具的优越性在韧性较好的刀片基体上进行表面涂层，涂覆具有高硬度、高耐磨性、耐高温材料的薄层(如TiN、TiC等)，使刀片具有全i面、良好的综合性能。未涂层高速钢的硬度只为62~68HRC(760~960HV)，硬质合金的硬度只为89~93.5HRA(1300~1850HV);而涂层后的表面硬度可达2000~3000HV以上。1.由于表面涂层材料具有很高的硬度和耐磨性，且耐高温。故与未涂层的刀片相比，涂层刀具允许采用较高的切削速度，从而提高了切削加工效率;或能在相同的切削速度下，提高刀具寿命。2.由于涂层材料与被加工材料之间的摩擦系数较小，故涂层刀片的切削力小于未涂层刀片。3.用涂层刀片加工...

DLC涂层表面非常光滑，有着耐磨和固体润滑功能。其应用非常广，在不同工业领域都能找到它的应用例子。涂层（coating）是涂料一次施涂所得到的固态连续膜，是为了防护，绝缘，装饰等目的，涂布于金属，织物，塑料等基体上的塑料薄层。涂料可以为气态、液态、固态，通常根据需要喷涂的基质决定涂料的种类和状态。依据所用涂料的种类而有不同的称呼，如底漆的涂层称为底漆层，面漆的涂层称为面漆层。一般涂料所得涂层较薄，约在20~50微米，厚浆型涂料则一次可得厚达1毫米以上的涂层。是为了防护，绝缘，装饰等目的，涂布于金属，织物，塑料等基体上的塑料薄层。DLC具有良好的耐磨、减磨特性，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DL...

DLC涂层的应用方向有哪些？(1)钻头、铣刀DLC膜可以应用于钻头和铣刀上，特别是掺杂金属的DLC膜，它不仅具有高的硬度，还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。(2)光盘模具及其辅助模具光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具，为了减少它与母盘（镍盘）的摩擦，希望模具表面硬且摩擦系数小，目前，国外大多采用DLC膜层，很大提高了模具的寿命和盘片的质量。镀膜之后有硬度高，摩擦系数低，耐磨，耐腐蚀，抗粘结性好且环保等特点。(3)芯轴DLC膜的耐磨减摩及耐腐蚀性，可显著提高齿轮、芯轴等运动部件的使用性能及寿命。(4)刀片上的应用现在DLC也在各种刀片如剪刀、刮胡刀等上的应用。DLC膜减小了刀片与皮肤...

dlc涂层的缺点。传统的DLC涂层通常不到5微米，很容易被刮擦掉，远远达不到发动机的实际使用寿命。无论是在什么样的零件上使用，一般来说，在满足零件尺寸要求的前提下，涂层的厚度，尤其是DLC涂层的厚度往往是越厚越好，这样零件的耐磨性会相应提高。然而，一旦涂层的厚度增加，尤其是DLC层的厚度增加，就会导其内应力增大，影响涂层和基材结合力，导致涂层与基材剥离，这就对涂层的使用寿命和效率产生影响。因此，厚度及其表现出的耐磨性一直是应用上的一个瓶颈。但是这一问题随着涂层加工业的发展已经得到了克服，可以说，dlc涂层是一种性能良好的有着广阔应用前景及发展前景的涂层。DLC涂层特有的润滑性能,被应用于发动机...

DLC涂层应用广。dlc涂层拥有多种多样的特性,这也为有着功能明确的多功能表面的新产品的开发创造了条件。dlc涂层优良的涂层性能使其得以实现产业化生产并得到普遍的应用,这些发展激发了很多科研院所和公司投资进一步的研究并带动了整个产业向将来迈进了一步。dlc涂层具有独特的高硬度和低摩擦系数,并且具有极强地不与金属材料粘结的性能。因此,这种涂层技术成为汽车行业应用的理想选择。dlc涂层的工业化生产开始于上世纪末和本世纪初,和普通的应用于刀具/模具上的硬质涂层(如TiN,TiAIN,CrN,TiCN等)相比是一种崭新的涂层技术。咱们日常可见的是成都DLC涂层,它应用途径很多。珠海零配件低摩擦DLC涂...

DLC涂层耐磨性能高。DLC膜不但具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜（如上述的TiN、TiC、TiAlN等）相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。制备的掺金属DLC膜具有良好的抗摩擦磨损性能及低达0.13-0.15的摩擦系数。DLC涂层特有的润滑性能...

DLC涂层在刀片上的应用。现在DLC也在各种刀片如剪刀、刮胡刀等上的应用。DLC膜减小了刀片与皮肤的摩擦，改善了刀片的性能，延长了使用寿命。DLC涂层在关键零部件上的应用DLC膜在许多关键零部件也能发挥其优良的性能，如在制成式斯特林制冷机的活塞上的应用利用其低的摩擦系数，降低摩擦力，提高耐磨性，达到无油润滑及使用寿命要求。在缝纫机配件-旋梭上镀DLC膜替代原来的电镀硬铬处理，不但避免了污染环境的问题，而且，明显提高工件表面硬度及耐磨性，使用寿命提高了10倍以上，同时，也因表面膜层摩擦系数降低后，使机器运行过程中产生的噪音变小。DLC涂层主要用于机械功能领域，如钻头、铣刀、剪刀、刀片、模具及轴承...

DLC（类金刚石）涂层作为一种较为常见的PVD涂层，和金刚石几乎拥有一样的特性。由于其具有高硬度和高弹性模量、低摩擦因数、耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，因而通过气相沉积工艺获得的DLC涂层在众多有耐磨性以及硬度要求的零件上得到广泛应用。DLC工艺温度通常在200摄氏度左右，甚至更低，能够处理大多数的汽车零件；DLC涂层细腻光滑，自润滑性好，摩擦系数通常在0.1以下；硬度高，通常在Hv2200以上；尤其适合涂覆在汽车零件表面，承受频繁持续的高i强度摩擦磨损，起到提高零件使用性能、延长使用寿命的作用；另外，DLCZ高可耐受350摄氏度，且耐腐蚀性好、化学稳定性高、结构致密，...

DLC涂层是在电离和分解的碳或烃类物质以通常为10-300eV的能量降落在基底表面时形成的。DLC膜具有优异的机械(高硬度)、光学(高光学带隙)、电学(高电阻率)、化学(惰性)和摩擦学(低摩擦和磨损系数)性能，并可在低衬底温度(~200°C)下沉积。DLC薄膜通常是非晶的（即没有占主导地位的晶格结构），由sp2（石墨）和sp3（金刚石）相的混合物组成。膜性能的控制强烈地依赖于所选择的沉积技术(PVD溅射或蒸发和Pa-CVD)的通量特性、膜内的金属和氢含量、sp2:sp3比、衬底偏置电压、离子能量和离子密度以及衬底温度。DLC膜对钢的摩擦系数一般在0.05-0.20之间，而膜硬度和sp3含量可以...

反响气源的组成对DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。首先，原子氢对石墨以及其他非金刚石相碳具有择优刻蚀的效果。堆积金刚石薄膜过程中，在没有超平衡氢原子参与时，甲烷分解为石墨和金刚石键价结构的速率是处于同一个数量级的。可是当甲烷和氢气的混合气体中引入超平衡原子氢后，甲烷的热分解效果和原子氢的刻蚀效果加在一起，就出现了金刚石的成长速率为正，石墨的成长速率为负的情况，即原子氢刻蚀石墨的速度远高于刻蚀金刚石的速度。因而，当反响气源中引入原子氢有利于添加DLC膜中sp3相含量，安稳随机共价键网络，阻止其转化为石墨相。其次，反响气源中氢气比例越高，DLC膜中含氢量越高，越有利于...

DLC涂层的应用方向有哪些？(1)钻头、铣刀DLC膜可以应用于钻头和铣刀上，特别是掺杂金属的DLC膜，它不仅具有高的硬度，还具有低的摩擦系数、抗有色金属粘结。(2)光盘模具及其辅助模具光盘模具是生产CD、CDR、DVD的重要工具，为了减少它与母盘（镍盘）的摩擦，希望模具表面硬且摩擦系数小，目前，国外大多采用DLC膜层，提高了模具的寿命和盘片的质量。镀膜之后有硬度高，摩擦系数低，耐磨，耐腐蚀，抗粘结性好且环保等特点。(3)芯轴DLC膜的耐磨减摩及耐腐蚀性，可显著提高齿轮、芯轴等运动部件的使用性能及寿命。DLC涂层技术成为制造业耐摩擦应用的理想选择。深圳DLC加工DLC涂层价格DLC涂层有哪些性能...

硬质合金刀具涂层方法近半个世纪以来，为提升刀具性能刀具表面涂层技术已成为主流，镀层就像刀具的盔甲一样，具有强大的防护、耐酸、耐氧化抗磨耗等特性，能够提高刀具表面硬度与热稳定係数，并降低摩擦係数以提升切削速度，从而提高加工效率也提升刀具寿命。刀具涂层技术可分为CVD（化学）与PVD（物理）两大类：CVDCVD为化学气相沉积（chemicalvapordeposition），利用生产纯度高与效能佳的固态材料化学技术，被应用在硬质合金可转为刀具的表面处理，像是半导体产业会使用此技术来成长薄膜。CVD是将反应源以气体形式通入反应腔中，经由氧化、还原与基板反应进行化学的反应，进而生成物藉由内扩散作用而沉...

“DLC”是英文“DIAMOND-LIKECARBON”一词的缩写。DLC是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似，同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜（DLC）是一种非晶态薄膜，基本上可以分为含氢类金刚石(a-C:H)涂层，和无氢类金刚石涂层。含氢DLC涂层的氢含量在20%--50%之间，SP3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳（ta-c）膜，ta-c涂层中以sp3键为主，一般高于70%。DLC薄膜具有高硬度和高弹性模量，低摩擦因数，耐磨损以及良好的真空摩擦学特性，很适合于作为耐磨涂层，从而引起了摩擦学界的重视。DLC涂层的典型应用：1）切削工具：钻头、铣刀、硬质合...

反响气源的组成对DLC涂层结构影响很大，特别是对DLC涂层的氢气结构有重要影响。首先，原子氢对石墨以及其他非金刚石相碳具有择优刻蚀的效果。堆积金刚石薄膜过程中，在没有超平衡氢原子参与时，甲烷分解为石墨和金刚石键价结构的速率是处于同一个数量级的。可是当甲烷和氢气的混合气体中引入超平衡原子氢后，甲烷的热分解效果和原子氢的刻蚀效果加在一起，就出现了金刚石的成长速率为正，石墨的成长速率为负的情况，即原子氢刻蚀石墨的速度远高于刻蚀金刚石的速度。因而，当反响气源中引入原子氢有利于添加DLC膜中sp3相含量，安稳随机共价键网络，阻止其转化为石墨相。其次，反响气源中氢气比例越高，DLC膜中含氢量越高，越有利于...

多弧镀涂层颜色较为稳定，特别是在做 TiN 涂层时，每一次均容易得到相同稳定的金黄色，令磁控溅射法望尘莫及。dlc涂层厂多弧镀的缺乏之处是，在用传统的 DC 电源做低温涂层条件下，当涂层厚度到达0.3μm 时，堆积率与反射率接近，成膜变得十分艰难。而且，薄膜外表开端变朦。多弧镀另一个不足之处是，由于金属是熔后蒸发，因而堆积颗粒较大，致密度低，耐磨性比磁控溅射法成膜差。可见，dlc涂层厂多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣，为了尽可能地发挥它们各自的优越性，完成互补，将多弧技术与磁控技术合而为一的涂层机应运而生。dlc涂层即类金刚石涂层,泛指不定性碳的晶体结构材质。湛江手机外壳DLCDLC涂层加工厂...

刀具需要涂层吗？镀层种类这么多该如何选择？刀具镀层也是能提高刀具寿命的议题之一，而根据不同的切削方法或环境，又能分为许多不同成分，在技术也能分为化学与物理，你目前使用的涂层是正确的吗？本篇将介绍涂层技术与选用，让你更了解并选出适合的。硬质合金刀具涂层方法近半个世纪以来，为提升刀具性能刀具表面涂层技术已成为主流，镀层就像刀具的盔甲一样，具有强大的防护、耐酸、耐氧化抗磨耗等特性，能够提高刀具表面硬度与热稳定係数，并降低摩擦係数以提升切削速度，从而提高加工效率也提升刀具寿命。刀具涂层技术可分为CVD（化学）与PVD（物理）两大类：CVDCVD为化学气相沉积（chemicalvapordepositi...

在当今的生活中，不管是哪一种机械设备都能用到许多小部件，你知道吗，这些小部件全部都是由DLC涂层进行加工制成的，这样说的话可能会比较复杂，那么下面利晟纳米就来为大家详细的介绍一下DLC涂层的基本概念和特点：DLC涂层只要能用到电，就可以进行工作了，而且引弧的过程也和电焊十分的相似，仔细来说的话，DLC涂层厂在一定工艺气压之下，引弧针与蒸发离子源进行短暂的接触，然后在断开，这样可以使气体放电。但是多弧镀的成因主要是借助于不时挪动的弧斑，在蒸发源外表上连续构成熔池，使金属蒸发后，堆积在上而得到薄膜层的，与磁控溅射相比，它不但有靶材应用率高，更具有离化率高。此外，多弧镀涂层颜色较为稳定，特别是在做T...

dlc涂层应用广。dlc涂层拥有多种多样的特性,这也为有着功能明确的多功能表面的新产品的开发创造了条件。dlc涂层优良的涂层性能使其得以实现产业化生产并得到很广的应用,这些发展激发了很多科研院所和公司投资进一步的研究并带动了整个产业向将来迈进了一步。dlc涂层具有独特的高硬度和低摩擦系数,并且具有极强地不与金属材料粘结的性能。因此,这种涂层技术成为汽车行业应用的理想选择。dlc涂层的工业化生产开始于上世纪末和本世纪初,和普通的应用于刀具/模具上的硬质涂层(如TiN,TiAIN,CrN,TiCN等)相比是一种崭新的涂层技术。浅谈DLC涂层在汽车发动机上的大应用。江门刀具DLCDLC涂层DLC涂层...

涂层刀具是利用气相沉积方法在强度高的硬质合金或高速钢基体表面涂覆几个微米的高硬度、高耐磨性的难熔金属或非金属化合物涂层而获得的。常用的涂层材料包括：金刚石、DLC、TiN、TiC、CrN、TiAIN、Al2O3、TiB2等。汽车发动机中的活塞环安装在活塞侧壁的凹槽内，环外圆面紧贴在气缸内壁。随着活塞在气缸内上下往复运动，环面不断地刮擦气缸内壁，产生较大的摩擦功损耗，工况比较恶劣，影响到发动机整机的能耗和使用寿命；含氢DLC涂层（以下简称DLC）和无氢DLC涂层（以下简称TaC）作为一种新的涂层材料和技术，因为具有更加优异的性能得到业界的重视。与CrN相比，DLC可以有效减少摩擦，进一步降低摩擦...

涂层刀具是利用气相沉积方法在强度高的硬质合金或高速钢基体表面涂覆几个微米的高硬度、高耐磨性的难熔金属或非金属化合物涂层而获得的。常用的涂层材料包括：金刚石、DLC、TiN、TiC、CrN、TiAIN、Al2O3、TiB2等。汽车发动机中的活塞环安装在活塞侧壁的凹槽内，环外圆面紧贴在气缸内壁。随着活塞在气缸内上下往复运动，环面不断地刮擦气缸内壁，产生较大的摩擦功损耗，工况比较恶劣，影响到发动机整机的能耗和使用寿命；含氢DLC涂层（以下简称DLC）和无氢DLC涂层（以下简称TaC）作为一种新的涂层材料和技术，因为具有更加优异的性能得到业界的重视。与CrN相比，DLC可以有效减少摩擦，进一步降低摩擦...

dlc涂层的力学性能。a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜比较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石(110GPa)，但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低...

DLC涂层的热稳定性。由于DLC属亚稳态的材料，热稳定性差是限制DLC膜应用的一个重要因素，在300℃以上退火时即出现了sp3键向sp2键转变，为此，人们进行了大量的工作试图提高其热稳定性。有研究发现：Si的加入可以明显改善DLC膜的热稳定性，含20at%Si的DLC膜在740℃退火时才出现sp3键向sp2键转变。同样，金属(如Ti、W、Cr)的掺入也可提高DLC膜的热稳定性，我们正在对这方面进行研究。DLC涂层的耐腐蚀性。纯DLC膜具有优异的耐蚀性，各类酸、碱甚至王水都很难侵蚀它。但掺杂有其他元素的DLC膜的耐蚀性有所下降，这是由于掺杂的元素首先被侵蚀，从而破坏了膜的连续性所致。DLC涂层刀...

DLC涂层类金钢石膜层是一种具有摩擦系数低、耐磨性高的固体润滑膜层，该膜的润滑是由于碳以石墨的微晶结构存在于膜层中，的改善了摩擦和耐磨性能。常用的硬质涂层在某些特殊领域的切削场合无法得以良好地应用,这些应用包括:铝合金、铜合金、石墨、亚克力、玻璃纤维等。厚度为1~1.5μm2、抗氧化温度为800℃摩擦系数大约为0.06~0.104、表面硬度达2200~3800HV5、膜层颜色为黑色1）具有很高的硬度，优良的耐磨性能。2）摩擦系数低，与基体结合力强，膜层涂覆均匀。3）具有优异的耐蚀性，能耐各种酸、碱等腐蚀；环保无毒。4）对金属、塑料、橡胶等脱模效果较好。该种涂层主要应用在在铝合金切削在DLC涂层...

浅析制备工艺哪些参数影响DLC涂层摩擦系数?掺杂元素.经过掺杂金属或非金属元素，可制备出具有优异强韧化和膜基结合力、低突冲特性以及低环境敏感性集一体的DLC涂层。元素掺杂可以改进DLC膜的突冲学功能，但要关注元素掺杂量。一般来说，元素掺杂都会有一个适合掺杂量规模。例如，掺杂少量N元素可明显下降各种湿度环境下DLC涂层的突冲与磨损，但掺杂很多N元素会使得C含量大幅度下降以及薄膜中碳链或团簇被更多的N原子中断，减小无定形碳对碳膜突冲学功能的贡献，突冲功能变差。基体资料.采用PECVD技术在聚碳酸酯(PC)树脂片上堆积的DLC涂层突冲因数会下降70%左右，耐磨性有极大的提高；在玻璃上制备的DLC膜突...

dlc涂层的力学性能。a.硬度及弹性模量。不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大，用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜[10]，广州有色金属研究院用阴极电弧法制备的DLC膜比较高硬度可达50GPa以上，而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa[11]。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响，Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量，虽低于金刚石(110GPa)，但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。b.内应力和结合强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命，影响薄膜性能的两个重要因素，内应力高和结合强度低...

DLC涂层耐磨性能高。DLC膜不但具有优异的耐磨性，而且具有很低的摩擦系数，一般低于0.2，是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化，其摩擦系数可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数，但加入H能提高润滑作用，环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说，DLC膜与传统的硬质薄膜（如上述的TiN、TiC、TiAlN等）相比，在摩擦系数方面具有明显优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此，DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。制备的掺金属DLC膜具有良好的抗摩擦磨损性能及低达0.13-0.15的摩擦系数。DLC涂层厂多弧镀膜与磁...

金刚石涂层的质量检验.涂覆完成后，就要对成形工件的膜层质量进行检验，检测膜层厚度是否均匀、工件的光泽、膜层是否出现分层及尺寸是否在控制范围内。如果膜层出现问题、厚度超差、结合力不强等问题需要及时解决，下面我们来了解一下相应的解决办法是什么吧！1、检验膜层均匀度检验成形后的膜层如果出现光泽不均匀、有花纹，应该是靶材的材质的纯净度不够，杂质多就会导致膜层不均匀。也可能是涂覆设备的故障。解决办法：所以如果检验出了膜层的问题可以先检测设备是否故障，如果设备稳定正常的话则必须更换靶材。2、检验膜层厚度检验膜层时如果发现厚度超差的情况，可能是处理时间过长或过短所导致的。解决办法：在设备稳定正常的情况下，膜...