扫描电镜的基本原理是什么?当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射,而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能,在Z后停止运动,被样品吸收。在这个过程中,99%以上的入射电子能量转化为样品热能,剩余约1%的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射...
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