类金刚石涂层和其它相关涂层的检测结构和性能 采用阴极电弧离子镀和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)相结合的技术方法,在304不锈钢基体上分别沉积制备了Ti/DLC和Ti/Ti N/Ti Al N/DLC复合涂层。选用原子力显微镜、拉曼光谱对涂层的形貌和结构进行表征测试。同时,利用显微硬度计、划痕测试仪系统地分析了涂层的显微硬度和界面结合性能,并研究了其摩擦磨损行为。上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层厂家 拥有国外先进的涂层设备和涂层技术支持 能够提供涂层研发 个性化涂层的解决方案。关于类金刚石硬度分析。嘉定区钻头类金刚石工艺以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金工具表面制作了类钻石(D...
类金刚石在DLC薄膜在汽车发动机领域的应用。为了降低发动机的燃油消耗,减轻发动机滑动部位的摩擦,(特别是活塞、活塞环与气缸之间以及凸轮与从动件之间的摩擦)非常重要。DLC薄膜材料作为一种高硬度减摩抗磨表面保护薄膜材料,具有优异的耐磨性能、低摩擦特性以及与发动机润滑油良好的协同复配特性,它在发动机滑动摩擦副上的应用是发动机节能降耗表面处理技术的一个重要研究方向。DLC薄膜在发动机上的应用效果,在技术上DLC薄膜将极低的摩擦阻力和极高的硬度完美地结合在一起,该技术已被初步应用于汽车零部件的各个运动系统中。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的P...
如何制备性能优异的超厚DLC 涂层成为亟待解决的科学性难题.另为,DLC 涂层在高温条件下,由于涂层的石墨化,涂层的摩擦学性能将会变差,在实际应用中,如何改善其高温摩擦性能(温度至少达400 ℃),是DLC 涂层得以广泛应用的另一重要指标.本文利用等离子体化学气相沉积法,制备了掺硅的超厚多层DLC 涂层并研究了其在不同环境条件下(包括高温)的摩擦学性能.结果表明,超厚DLC 涂层表面光滑,无明显缺陷,与基底之间的附着力和承载能力分别高达40N 和3.5GPa.类金刚石涂层的用处有哪些?奉贤区塑胶模类金刚石涂层厂以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金刀具表面制备了类金刚石(DLC)涂层.研究了DL...
多年来,对需要提高涂层光洁度的解决方法是采用过滤式电弧气相沉积工艺。该方法采用磁场过滤器来驾驭碳离子轰击刀具,而中性的碳颗粒却不受控制而轰击磁场管道。阴极与真空腔的夹角小于90°。碳颗粒将沿直线运动而轰击弯曲的磁场管道,而碳离子将在磁场的作用下沿管道抵达基体材料。该方法的缺点是沉积速度相对较慢、沉积区域相对较小,以及每次沉积的设备成本较高。此外,一些碳颗粒仍可在管道内偏转并抵达基体材料。大约10年前,出现了一种新的沉积工艺:高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)。采用HiPIMS工艺,可同时兼得离子产生和获得光滑溅射涂层的益处。但直到比较近这种方法才可使用石墨靶。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先...
热泵、空调和制冷系统中需寻找新的、环保的制冷工质,CO2作为自然制冷工质在热泵系统中受到人们的关注,但CO2冷媒由于其运行压力高,在旋转式压缩机运用中需解决滑片磨耗大的问题。本文通过在滑片上进行DLC膜涂层,研究滑片上DLC涂层的各种特性,并通过压缩机实机进行耐久试验。结果表明,通过控制DLC涂层的工艺,可以得到低摩擦系数、高硬度的耐磨滑片,满足CO2压缩机的使用需要。上海英屹涂层技术有限公司能够提供涂层研发 个性化的涂层解决方案。无锡类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。金山区金刚石类金刚石哪个好类金刚石(DLC)涂层的主要成份是碳,是一种兼有高硬度与优异摩擦性能的非晶体硬质薄膜由石墨...
以等离子体化学气相沉积技术在硬质合金刀具表面制备了类金刚石(DLC)涂层.研究了DLC涂层刀具和无涂层刀具的硬度,不同载荷、不同转速下两种刀具的摩擦磨损性能,以及在水润滑和油润滑条件下DLC涂层刀具的滑动摩擦行为.结果表明,DLC涂层刀具的平均硬度为2HV,比无涂层刀具提高了膜层硬度高膜层摩擦系数低小于结合力好耐腐蚀性能好优异的耐磨性膜层具有自润滑性的优点。可以解决PVD涂层镀不到的工件内孔的问题。公司涂层已经应用于航空机械模具电子医疗汽车发动机部件等领域。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦...
类金刚石涂层是含有类似金刚石结构的非晶碳膜,也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的来源和制备方法的差异,DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究,正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等上海英屹涂层技术有限公司提供专业的一条龙涂层服务。无锡类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。湖州铣刀类金刚石涂层厂以等...
DLC类金刚石(diamond—likecarbon)涂层是含有大量SP3键亚稳态的非晶碳,它的结构中SP2和SP3键比例在很大范围内变化.SP3键含量高(〉70%)的DLC涂层有许多和金刚石涂层相似的性能。.DLC涂层的制备工艺简单,沉积面积大,涂层面平整光滑,工艺比较成熟,因而已经在许多领域得到应用. 上海英屹涂层技术有限公司是一家专业的涂层厂家。 深耕上海十几年, 得到众多国内外企业的信任和支持。 公司能够提供各种涂层的研发, 提供个性化的涂层解决方案 。绍兴类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。上海金属表面类金刚石哪个好类金刚石薄膜在模具领域的应用。物相沉积法是在真空中利用热蒸...
类金刚石常常是以薄膜形式使用的,类金刚石薄膜具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等,同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式,从而使其终产生不同的物质:金刚石(diamond)—碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)—碳碳以sp2键的形式结合;而如同绪论里所述类金刚石(DLC)—碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合,生成的无定形碳的一种亚稳定形态,它没有严格的定义,可以包括很宽性质范围的非晶碳,因此兼具了金刚石和石墨的优良特性;所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键。上海英屹涂层技术有限公司...
涂层刀具结合了基体**度高韧性以及涂层高硬度高耐磨性的特点,可以提高刀具寿命和加工效率.类金刚石薄膜(DLC)是由无序sp3键,sp2键,sp1键配位碳原子混合而成,具有一系列与金刚石膜相类似的性能(如热导率高,热膨胀系数小,化学稳定性好,硬度和弹性模量高,耐磨性好及摩擦系数低等)以及优异的耐摩擦性能和自润滑特性,因此成为高速钢和硬质合金刀具理想的表面改性膜.DLC薄膜起源于20世纪70年代,其沉积方法主要有物***相沉积法 上海英屹涂层技术有限公司 能够提供专业的涂层研发 个性化的涂层解决方案丽水类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。宝山区纳米类金刚石涂层厂类金刚石薄膜(Diamond...
DLC膜的成分、结构和性能不同。类金刚石碳膜(Diamond-likecarbonfilms,简称DLC膜)作为新型的硬质薄膜材料具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等,可用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。我们开发了等离子体-离子束源增强沉积系统,并同过该系统中的磁过滤真空阴极弧和非平衡磁控溅射来进行DLC膜的开发。该项技术用于电子、装饰、宇航、机械和信息等领域,用于摩擦、光学功能等用途。目前在我国技术正处于发展和完善阶段,有巨大市场潜力。上海英屹涂层技术有限公司提供各种PVDCVD涂层。北京类金刚石涂层厂家 ...
以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜中sp3杂化键的含量比以氩气-乙炔为辅助气体制备的类金刚石薄膜的高.纳米压痕测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的纳米硬度比以氩气-乙炔为辅助气体的高.原子力显微镜测试结果表明,以氩气-甲烷为辅助气体制备的类金刚石薄膜的RMS表面粗糙度比以氩气-乙炔为辅助气体的低.以上结果说明辅助气体组成对类金刚石薄膜的键结构、机械性能、表面形貌有较大的影响.上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内...
DLC膜不仅具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。国此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备...
类金刚石薄膜在模具领域的应用。物相沉积法是在真空中利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程,在基体表面沉积一层所需要的固态薄膜或涂层的技术。物相沉积涂层技术现在已被广泛应用于欧美等地的模具制造业,如冲压拉伸、成形、钟表外壳模具及精密零配件等,涂层处理可以增加工件硬度、抗磨力和降低摩擦系数,从而延长工件寿命。目前主要的涂层包括TiN、TiCN、CrN等,每种涂层各有其不同的特性和用途。应用化学气相沉积方法将TiC、TiN等涂覆于刃具、模具及各种耐磨结构零件表面上,获得几个微米厚的涂层。以上几种硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数、高的抗磨能力、高的抗接触疲劳能力及高的表面强度,保证表面具有足够的尺寸...
类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有许多与金刚石涂层相似的优异性能,如高硬度,耐磨损,低摩擦系数,并具有良好化学稳定性,电绝缘性,光透性,耐腐蚀性以及生物相容性,其作为新型功能薄膜材料,在机械,电子,光学航天航空和生物相容性诸多领域具有***的应用.DLC 作为功能防护涂层,典型膜层厚度在1~5μm,在汽车制造业和航空航天领域等特殊应用领域膜层厚度需求可达10~50 μm左右.同时试验表明,膜层越厚,涂层耐磨性能和抗腐蚀性能更优异,所以制备超厚DLC 涂层尤为迫切.然而,DLC 由于其高的内应力,厚度限制在10μm 以内,从而限制了DLC 涂层的应用上海类金刚石涂...
类金刚石涂层是含有类似金刚石结构的非晶碳膜,也是我们在这里真正需要介绍的一种。DLC膜的基本成分是碳,由于其碳的来源和制备方法的差异,DLC膜可分为含氢和不含氢两大类。DLC膜是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键,主要包含sp2和sp3两种杂化键,在含氢DLC膜中还存在一定数量的C-H键。我们从1996年起开始磁过滤真空弧及沉积DLC膜研究,正在完善工业化技术。如等离子体源沉积法、离子束源沉积法、孪生中频磁控溅射法、真空阴极电弧沉积法和脉冲高压放点等上海英屹涂层技术有限公司提供专业的一条龙涂层服务。台州类金刚石涂层厂家 上海英屹涂层技术有限公司。松江区金刚石类金刚石公司多...
类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)涂层具有许多与金刚石涂层相似的优异性能,如高硬度,耐磨损,低摩擦系数,并具有良好化学稳定性,电绝缘性,光透性,耐腐蚀性以及生物相容性,其作为新型功能薄膜材料,在机械,电子,光学航天航空和生物相容性诸多领域具有***的应用.DLC 作为功能防护涂层,典型膜层厚度在1~5μm,在汽车制造业和航空航天领域等特殊应用领域膜层厚度需求可达10~50 μm左右.同时试验表明,膜层越厚,涂层耐磨性能和抗腐蚀性能更优异,所以制备超厚DLC 涂层尤为迫切.然而,DLC 由于其高的内应力,厚度限制在10μm 以内,从而限制了DLC 涂层的应用盐城类金刚石涂...
类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...
类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代,是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜,它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此,类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料,禁带宽度可以在1—4eV之间调制,可大面积生长,材料自身和加工过程环保,在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂...
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...
物相沉积是在真空状态下,将被沉积元素变成原子进相沉积。用于制备类金刚石薄膜的物相沉积法包括经典的离子束沉积法(通过等离子体溅射石墨靶产生碳离子,经电磁场的加速作用沉积在基体表面)、新兴的直流磁控溅射技术(电子在磁场的作用下将Ar原子变成Ar离子,轰击石墨靶面,溅射出的碳原子在基体表面形成膜)、射频溅射技术(电子在射频振荡的作用下将Ar原子变成Ar离子,轰击石墨靶面,溅射出的碳原子在基体表面形成膜)以及脉冲激光沉积法(在真空条件下,利用脉冲激光束使石墨靶释放碳离子,在基体表面沉积成膜)。化学气相沉积是在热能、光能或等离子体等各种能源的作用下,通过发生化学反应,使蒸汽状态的化学物质形成固态沉积物。...
为研究磁过滤阴极电弧沉积无氢类金刚石(Ta-C)涂层及气相沉积含氢类金刚石(含氢DLC)涂层的成分、结构及力学特性,以及两种涂层对刀具高速切削铝合金性能的影响.采用高分辨率的显微镜观察膜层的表面形貌;Raman光谱分析sp2/sp3键角混乱度和sp2团簇信息,以及sp3-C/sp2-C的比例关系;纳米压痕仪测量膜层的硬度;高速铣削实验表征涂层刀具的切削性能并分析刀具的失效原因及工件的加工质量.结果表明,Ta-C涂层表面致密光滑,表面颗粒细小,无明显凹坑,结合力分别满足工业等级HF1和HF2.在高速、干式切削铝合金条件下,Ta-C涂层铣刀的切削寿命是含氢DLC涂层铣刀的铝合金材料粘附效果更佳,切...
类金刚石(DLC)膜良好耐磨损、耐腐蚀等性能为研发高寿命人工关节提供了新希望。分别综述了采用常规摩擦学方法对DLC膜在钴铬合金、不锈钢、钛合金、超高分子量聚乙烯(UHMWPE)等人工关节材料表面和采用模拟试验机方法对DLC膜、耐腐蚀性的应用和研究进展,对DLC膜失效机理和发展趋势进行了总结和展望。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户对膜层的多样性要求。公司涂层已经应用于航空机械模具刀具刃具电子医疗器械精密器件汽车发动机部件等领...
类金刚石薄膜在模具领域的应用。物相沉积法是在真空中利用热蒸发或辉光放电、弧光放电等物理过程,在基体表面沉积一层所需要的固态薄膜或涂层的技术。物相沉积涂层技术现在已被广泛应用于欧美等地的模具制造业,如冲压拉伸、成形、钟表外壳模具及精密零配件等,涂层处理可以增加工件硬度、抗磨力和降低摩擦系数,从而延长工件寿命。目前主要的涂层包括TiN、TiCN、CrN等,每种涂层各有其不同的特性和用途。应用化学气相沉积方法将TiC、TiN等涂覆于刃具、模具及各种耐磨结构零件表面上,获得几个微米厚的涂层。以上几种硬质涂层基本具备低的滑动摩擦系数、高的抗磨能力、高的抗接触疲劳能力及高的表面强度,保证表面具有足够的尺寸...
随着现代科学技术的不断进步,普通硬质涂层和超硬涂层有了明显的发展,部分涂层已经在某些领域实现了应用。主要介绍了氮化物、碳化物、氧化物、硼化物等普通硬质涂层和金刚石、类金刚石(DLC)、cBN、纳米多层结构涂层及纳米复合涂层等超硬涂层的性能、应用、制备技术及其发展趋势,并对部分常见涂层面临的性能改进及其今后可能的发展方向进行了探讨。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂层的PE-CVD设备技术设备制备的膜层硬度高,摩擦系数低,结合力好,耐腐蚀性耐磨性能优异的膜层。可以满足国内外不同客户对膜层的多样性要求。公司涂层已经应用于航空机械模具刀具刃具电子...
类金刚石(DLC)膜涂层刀具的硬度高、摩擦系数低、耐摩擦和耐腐蚀性能强、抗粘结性能好,并且可以用来制作复杂、异型刀具,是未来刀具的一个重要发展方向.本文介绍了DLC膜的表面显微结构和Raman光谱并列举了DLC的制备方法(包括磁控溅射、离子束沉积、脉冲激光沉积、真空阴极电弧沉积、等离子体增强型化学气相沉积)与分类.从酸蚀法、施加过渡层、表面微喷砂处理和掺杂4个方面分析如何提高膜基结合力,探讨了DLC膜的摩擦性能受湿度、温度和加工条件的影响.例举了几个国内外DLC涂层硬质合金刀具的使用范例,指出了目前研究工作的不足之处,提出了下一步研究工作的重点是优化DLC膜的制备工艺、提高膜基结合力和热稳定性...
类金刚石薄膜(Diamond—likecarbonfilms)发现于20世纪70年代,是一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜,它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。因此,类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺杂的DLC膜是一种非晶半导体材料,禁带宽度可以在1—4eV之间调制,可大面积生长,材料自身和加工过程环保,在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者p型DLC半导体材料。上海英屹涂层技术有限公司引进国外先进的多弧离子镀设备,磁控溅射镀设备和镀DLC类金刚石涂...
类金刚石常常是以薄膜形式使用的,类金刚石薄膜具有高硬度.高电阻率.良好光学性能等,同时又具有自身独特摩擦学特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之间的不同结合方式,从而使其终产生不同的物质:金刚石(diamond)—碳碳以sp3键的形式结合;石墨(graphite)—碳碳以sp2键的形式结合;而如同绪论里所述类金刚石(DLC)—碳碳则是以sp3和sp2键的形式结合,生成的无定形碳的一种亚稳定形态,它没有严格的定义,可以包括很宽性质范围的非晶碳,因此兼具了金刚石和石墨的优良特性;所以由类金刚石而来的DLC膜同样是一种亚稳态长程无序的非晶材料,碳原子间的键合方式是共价键。上海英屹涂层技术有限公司...
物相沉积是在真空状态下,将被沉积元素变成原子进相沉积。用于制备类金刚石薄膜的物相沉积法包括经典的离子束沉积法(通过等离子体溅射石墨靶产生碳离子,经电磁场的加速作用沉积在基体表面)、新兴的直流磁控溅射技术(电子在磁场的作用下将Ar原子变成Ar离子,轰击石墨靶面,溅射出的碳原子在基体表面形成膜)、射频溅射技术(电子在射频振荡的作用下将Ar原子变成Ar离子,轰击石墨靶面,溅射出的碳原子在基体表面形成膜)以及脉冲激光沉积法(在真空条件下,利用脉冲激光束使石墨靶释放碳离子,在基体表面沉积成膜)。化学气相沉积是在热能、光能或等离子体等各种能源的作用下,通过发生化学反应,使蒸汽状态的化学物质形成固态沉积物。...
采用高功率脉冲磁控溅射技术制备DLC膜层,研究了偏压的变化对膜层结构及主要力学性能的影响.利用扫描电镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪、纳米压入仪、划痕仪和磨擦磨损试验仪分析检测了DLC膜结构与性能.结果表明:偏压的提高,有利于改善DLC膜的表面光洁度及致密性,DLC膜表面均方根粗糙度Rq由不施加偏压时的9nm降低至偏压为-350V的7nm;致密性的提高使沉积速率略有下降,膜层厚度减小.偏压的增加,DLC膜内部sp3含量先增加后减小趋势,在偏压为-250V时,DLC膜中sp3含量比较高.偏压的增大,DLC膜的硬度、杨氏模量和摩擦磨损等主要力学性能均呈先增大后减小的趋势,并在偏压为...