氦质谱检漏仪是对比性测试仪器，其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离，轰击靶心产生电离，并放大，通过电流大小的判断氦气分子的多少！进入质谱室氦气分子的比例（分流比），还有电气参数的不同，电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同；所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少，需要参照物，这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养。模块式氦检机厂家
氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规等。模块式氦检机厂家氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏。
氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。
氦质谱检漏仪作为一种测量仪器，需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准，以保证设备自身检测精度。氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度高，用得比较多的检漏仪器。消费者在选购氦质谱检漏仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选，例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦质谱检漏仪的检查速度，立足于自身的需求保证这种氦质谱检漏仪的功能得以实现才是正确的挑选方式。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。
氦质谱检漏仪的选择要进行多家的货物进行对比，将不同品牌的样品放一起对比，这样氦质谱检漏仪仪质量好与坏一眼便看得出来。除了光看样品的质量，建议用户尽可能监督安装的全过程，同时并索要样品验货，在安装完后，可以要求商家在再测试一遍。保持氦质谱检漏仪的干燥，严禁接触水，并避免直接接触腐蚀性液体。严禁在高温的环境中使用氦质谱检漏仪，高温使用仪器，很可能会长久性的损坏传感器。请参阅仪器的温度使用范围。不同的氦质谱检漏仪的应用范围领域也不相同，例如工业用的氦质谱检漏仪，需符合国家各项安全标准，使用起来也更复杂。氦质谱检漏仪的保养项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。分体式氦检机价钱
有些国家生产的氦检仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果。模块式氦检机厂家
氦质谱检漏仪如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。氦质谱检漏仪以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。选购氦质谱检漏仪时不要盲目地认为价格高是好的，低的价格时不好的，要选择适合自己的产品。这样选择出来的产品，才会更加的符合我们的使用情况。模块式氦检机厂家
上海妤林真空设备技术有限公司拥有上海妤林真空设备技术有限公司，座落于上海市嘉定区新建一路2255号，是一家专门从事氦质谱和真空产品的研发、生产和销售的高科技企业。 我司提供真空相关技术服务，技术交流，技术咨询以及真空管道的设计，生产以及安装。等多项业务，主营业务涵盖氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪。一批专业的技术团队，是实现企业战略目标的基础，是企业持续发展的动力。上海妤林真空设备技术有限公司主营业务涵盖氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪，坚持“质量保证、良好服务、顾客满意”的质量方针，赢得广大客户的支持和信赖。公司深耕氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪，正积蓄着更大的能量，向更广阔的空间、更宽泛的领域拓展。
