氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法：1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。2. 确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。4. 记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。5. 从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到较后一个焊道或连接处。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。浙江移动式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪主要性能指标试验方法：灵敏度、反应时间、清理时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。反应时间、清理时间及其测定：反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即O.63）所需要的时间，记为τR。清理时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍（即O.37）所需要的时间，记为τC。工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。安徽真空氦质谱检漏仪特点氦质谱检漏仪要存放到阴凉、通风、没有漏雨、火灾等危险的房间。
氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。以上这些因素都为提高氦质谱检漏仪器的灵敏度创造了良好条件。另外，氦气作为一种惰性气体，性质不活泼，不与真空器件起化学反应，无毒，也不会污染环境，因此使用起来也十分安全。
氦质谱检漏仪使用方法有哪些？背压法，测总漏率，电子元器件进行的气密性检测时常用背压法。检漏前用专门使用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专门使用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。辅助真空系统，对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。氦质谱检漏仪适用于元件精确检漏的要求。
影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素有哪些？第1，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔的位置不同于被检漏孔的位置，即标准漏孔与被检漏孔到检漏仪的距离相差太大，泄漏氦气的损失在途中不同，会导致进入检漏仪的氦量可比性差。第二，是进入被检漏孔与标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或无法准确给出氦气压力和分压比值，导致无法转换，此时也会产生漏率测量误差。第三，标准漏孔的标称漏率有误差。第四，是氦质谱检漏仪输出指示与泄漏率线性关系差。第五，在校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，标准漏孔的气流特性与被检漏孔不同。第六，检漏仪性能不稳定；第七，氦气纯度不稳定或有误差；第八，之后是检漏操作人员的因素，包括素质、责任感、技术水平和工作经验。氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。安徽真空氦质谱检漏仪特点
相比于传统检漏方法，氦质谱检漏仪检测效率高、检漏精度要高3-4个数量级，且不会对电池造成任何影响。浙江移动式氦质谱检漏仪特点
氦质谱检漏仪的结构组成：它通过质谱室的重点供电和测量，所以作为供电的重点部分，其中一部分属于真空部分，对这部分的重点检测要求非常高，通过检测中获得的检测数据输出形成重点装置。然后氦质谱检漏仪主要通过控制电流输出的大小，由于气密性检测仪离子流收集极接收到的离子流很小，必须放大后才能显示输出。通过交流放大器放大调制的离子流。输出信号由显示仪表和声音装置(扬声器)指示。低频发生器，低频发生器产生频率为5~7Hz，振幅为14~16V的调制电压，该电压叠加在加速电压上，实现离子流调制。高压整流器和发射电流稳定装置。发射电流稳定装置是调节灯丝加热电流，从而保持灯丝发射电流稳定，提高灵敏度。发射电流可以分几个档次进行有级调节，以改变仪器的灵敏度。高压整流器提供冷阴极磁控电源。真空规放电电流指示气体压力值，由仪器显示，其放电电流也作为继电保护的输入信号。当质谱检漏仪室真空度恶化时，放电电流增大，使继电器动作，然后切断灯丝加热电流，保护灯丝不被烧毁。浙江移动式氦质谱检漏仪特点
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