氦质谱检漏仪真空法原理：采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷口的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。氦质谱检漏仪质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。南京真空氦质谱检漏仪定制
氦质谱检漏仪应该如何选择？1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合吸口法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。5、如果被检对对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低时，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的检漏仪。6、如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。7、在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。安徽客制化氦质谱检漏仪多少钱一台氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法，一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空，这是氦质谱检漏仪常用的检漏方法。检漏的方式是：链接被检化工管道和真空泵组以及氦质谱检漏仪，用真空泵组把管道抽真空，达到一定真空度。使用氦气喷口在管道密封接头，焊缝处喷氦，如果被检管道某处有泄漏，当氦喷到漏孔上时，氦气会立刻被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室内，氦质谱检漏仪感应到氦就会立刻有响应。从而达到了检漏的结果。氦气是较轻的惰性气体，在喷出时会自动上升，为了准确找到漏孔位置喷氦，使用此方法时喷氦自上而下，由近至远（相对检漏仪的位置），这是因为在下方时有可能被上方漏孔吸入；漏孔距离质谱室的距离检漏仪反应时间也不同，所以喷氦气应先从靠近检漏仪的一侧开始由近至远进行。
氦质谱检漏仪使用方法有哪些？背压法，测总漏率，电子元器件进行的气密性检测时常用背压法。检漏前用专门使用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入专门使用检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。辅助真空系统，对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，检漏仪的真空度可能抽不上去，使检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。氦质谱检漏仪检测的介质比较常用，只需压缩空气即可。
氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的较小漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到较佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“较小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。如果检漏时用辅助系统抽气（即对示漏氦气有分流）。或用累积法检漏时，给出仪器较小可检氦浓度（即浓度灵敏度）。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。浓度灵敏度校准系统中应用出色量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。氦质谱检漏仪可以切实提高汽泵小机真空系统的检漏效率。南京真空氦质谱检漏仪定制
氦质谱检漏仪主要技术参数：可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。南京真空氦质谱检漏仪定制
氦质谱检漏仪维护保养方法：机械泵维护，检查机械泵油量，如低于较低标线则添加泵油；如泵油发黑、浑浊则更换泵油。具体操作参见机械泵说明书。清洗，检漏仪在没有氦气进入时，却有一定漏率指示，并且长时间存在。这种情况多由于检漏口、波纹管、密封圈等脏污后吸附了氦气，在检漏时再次释放出来造成较大的氦本底。为避免油污、粉尘、杂物进入检漏仪，在检漏口下方装有过滤器，将其拆下用酒精浸泡清洗。检漏口、波纹管用棉布擦拭即可。储存，检漏仪长期不使用时，用盲板将检漏口、机械泵排气口封上，触摸屏用棉布或者硬纸板遮挡，标准漏孔、气袋喷枪、相关配件装入包装盒，存放到阴凉、通风、没有漏雨、火灾等危险的房间。南京真空氦质谱检漏仪定制
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