氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。氦质谱检漏仪检测的介质比较常用，只需压缩空气即可。金华全自动氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪的使用方法：1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。金华全自动氦质谱检漏仪原理选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求，国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。
氦质谱检漏仪详细操作步骤：1、插上电源，打开氦质谱检漏仪总开关。等待2分钟，当听到一阵风鸣声之后说明氦质谱检漏仪已完全启动。2、查看氦质谱检漏仪装置确保检漏参数未被更改，氦质谱检漏仪运行正常。打开氦质谱检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；Z后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。3、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。
氦质谱检漏仪主要技术参数：可检漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率显示范围：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；启动时间：≤5min；响应时间：<2S；检漏口压力：300Pa；极限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。优势特点：1.采用便携式设计；2.设备外型美观小巧；3.采用液晶触摸屏设计；4.有通讯接口；5.可以方便地将检漏数据输出。使用环境：环境温度：5～35℃；相对湿度：<80%；供电电压：单相交流220V±10%，50Hz；工作电流：10A。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。现今生产的氦质谱检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法。宁波全自动氦质谱检漏仪
了解工件的漏孔问题是选择氦质谱检漏仪的必要条件。金华全自动氦质谱检漏仪原理
氦质谱检漏仪真空压力法原理：采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。真空压力法的检测标准有GB/T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。金华全自动氦质谱检漏仪原理
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