氦质谱检漏仪真空系统：氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成。在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空，当真空度达到一定压力后，再进入真空系统部分；被检件在检测前会被要求进行清洁前处理，以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统；否则将直接污染真空系统，甚至造成真空泵损坏；所以被检件的清洁前处理及对设备自身定期的保养清理尤为重要。设备自身保养小知识：（1）前级真空泵的定期换油及深度保养；（2）电磁阀组的超声清洗；（3）质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪捡漏方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。苏州氦质谱检漏仪注意事项
氦质谱检漏仪适用于元件精确检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于精确的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。常见的氦质谱检漏仪检测仪方法有漏点型、漏率型两种。氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。杭州小型氦质谱检漏仪价格氦质谱检漏仪在充注检漏气体前，试件必须抽空。
氦质谱检漏仪的日常保养与维护：1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间。2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）。5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为高精度精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。
氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其普遍应用。主要领域和产品如下：原子能工业气体扩散处理系统、核燃料容器；高能物理研究院加速器及其配件；电力工业高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业电子器件、半导体、传感器和积成电路；航空航天燃料箱、油箱、卫星及各种电机等；仪表制造压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；空调制冷工业压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；真空科学与工业泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；冶金真空电炉；低温与压力容器液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。使用氦质谱检漏仪吸口模式检测消防钢瓶是业界较新所采用的较普遍的检测方法。
氦质谱检漏仪检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。现今生产的氦质谱检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。氦质谱检漏仪灵敏度降低应该如何维护？多功能氦质谱检漏仪大概多少钱
氦质谱检漏仪使用时需要注意哪些事项？苏州氦质谱检漏仪注意事项
氦质谱检漏仪的检漏方式：1、钟罩法——测总漏率，将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率，进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。苏州氦质谱检漏仪注意事项
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