氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。妤林JQ-3300采用了氦质谱检漏仪专门使用定制分子泵，能极大地提高对氦气的感应速度，有效改善氦本底的清理时间，阻断氦气对质谱室的污染。 全自动液晶触摸彩屏显示，实现了智能自动化，操作方便、简单可靠。 离子源灯丝，采用氧化钇铱金灯丝，这是我司自主研发和生产使用的，可以使离子源寿命更长，灵敏度更高。JQ-3300所采用的离子源灯丝技术，达到国际先进水平，双灯丝，自动调氦峰自动切换。氦质谱检漏仪灵敏度降低可以先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件。无锡进口氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪的选择：首先要考虑到灵敏度必需充分满足要求，选择氦质谱检漏仪时。但也不是越高越好。便携式检漏仪适于检小件，灵敏度也较高，移动方便。由于本机真空系统很小，抽气能力有限，所以检大容器时就不得不靠较大辅助真空系统抽气，由于气体分流、灵敏度将降低。检大容器时，一般选逆扩散型检漏仪，因被检件接在分子泵钱级与机械泵连接管道上，要求真空度不高，而顺检型检漏仪被检件接在质谱室上，要求真空度高，否则仪器不能工作，所以抽气时间要长。如果在流水线上测振仪可选用特定检漏仪或作简单工装使用。若平时被检件什么样的都可能有，可以选用基本型氦质谱检漏仪，以降低成本。无锡进口氦质谱检漏仪使用方法选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求，国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。
氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求：1、检漏灵敏度高，可以检出很小的漏孔；2、反应时间短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能够找出漏孔的位置，还能知道漏率的大小，以便确定是否合乎质量要求；4、能无损检漏，不使被检设备受到损伤和污染；5、稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠；6、所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；7、检漏范围大，从大漏孔到小漏孔都能检测到，以减少检漏设备的数量和费用；8、检漏时洁净无油，满足一些特殊的要求。氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
氦质谱检漏仪的使用方法：1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。氦质谱检漏仪在管道检测方面有两种检测方法，负压法和正压法。
选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则：1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔，所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的氦质谱检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W。2、根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。低噪声、低振动，设备坚实牢固；性能可靠，操作简便，造型美观，售后服务周到；自保护功能，防止本底被污染；检漏效率高，带故障提示和报警功能。氦质谱检漏仪适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。苏州模块式氦质谱检漏仪多少钱一台
氦质谱检漏仪作为一种测量仪器。无锡进口氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等，主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体，原因主要有以下几点：1、氦气的质量轻，易于穿过漏孔，进入系统时流动和扩散快，因此响应快，检漏灵敏度高。2、氦离子质荷比小，因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大，利于离子分离，可以适当降低对分析器制造精度的要求，使质谱室中氦离子通过的各个缝隙，从而提高氦离子的传输率。3、氦在空气中及残余气体中的含量少，在材料出气中氦气也很少，因此本底压力小，检漏时本底信号小。无锡进口氦质谱检漏仪使用方法
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