氦质谱检漏仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修ZX处理。3、检漏键无效(绿色指示灯亮)，检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。氦质谱检漏仪长期不使用时，用盲板将检漏口、机械泵排气口封上。杭州台式氦质谱检漏仪供应厂家
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中比较常用的两种方法。氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。杭州台式氦质谱检漏仪供应厂家禁止任何外来物掉在或洒在氦质谱检漏仪上，尤其是进气口中。
氦质谱检漏仪日常维护：1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口是否有氦气喷出。4、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。5、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除大的漏点后，再对其它地方检漏。6、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。7、检漏间应通风良好，避免氦气浓度增高，但应避免强通风。8、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。9、定期更换灯丝，清洗冷规。10、适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。
氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口，性能稳定可靠。修长的体积，优越的性能，适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术，实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点：1.检测时间和响应周期非常短，可以达到2s以内；2.检测的介质比较常用，只需压缩空气即可；3.多种大漏保护模式，充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击。氦质谱检漏仪由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其普遍应用。
氦质谱检漏仪真空法原理：采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。其中真空喷吹法采用喷口的方式向被检产品外表面喷吹氦气，可以实现漏孔的精确定位; 真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可以实现被检产品总漏率的测量。真空法的优点是检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。杭州台式氦质谱检漏仪供应厂家
氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等。杭州台式氦质谱检漏仪供应厂家
氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法有哪些？如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。如果每个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，说明该系统的漏率是符合要求的。测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。将检漏仪与系统分开。杭州台式氦质谱检漏仪供应厂家
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