氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到合适的值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。氦质谱检漏仪使用方法有哪些？江苏台式氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪的优点集中在以下几个方面:(1)便携性:许多小型便携式检漏仪不只灵敏度高，而且便于携带，为野外作业和高空作业提供了极大的便利。(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕，对于检测大系统和泄漏工件非常有用。(3)高度自动化：氦峰自动标定，零点自动调整，量程自动转换，数据自动处理，可外接打印机。全机由微电脑控制，具有选菜功能，一键完成全检漏过程。(4)完全无油的干式检漏:一些国家生产的检漏仪可以采用干式泵，达到无油蒸汽的效果，为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。为适应检漏口压力的变化和对灵敏度的不同要求，分子泵一般采用多段结构，多速。如果改变分子泵的转速，可以达到这个目的，提高检漏灵敏度。此外，反扩散检漏方法实现了高压强下检漏，也为正压吸口检漏提供了良好的条件。江苏台式氦质谱检漏仪价钱氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。
氦质谱检漏仪背压法原理：采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪捡漏方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种。
氦质谱检漏仪换灯丝步骤：1、停机换灯丝：可直接取下离子源更换灯丝，装好后按正常开机步骤进行。2、不停机换灯丝：关冷规，关抽速阀，取离子源插头，取下离子源，更换灯丝后装上离子源，插离子源插头，此时“加速电压”示值不应有变化，“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟)，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置”，开抽速阀，开冷规，等真空过1×10-2Pa后可启动灯丝，调氦峰。氦质谱检漏仪灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净，清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口，尽量靠近电离盒，但不能短路，三根引线间也不能相互短路。氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名，但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等。江苏台式氦质谱检漏仪价钱
使用氦质谱检漏仪要注意哪些问题？江苏台式氦质谱检漏仪价钱
氦质谱检漏仪的本底噪声高是什么原因？一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清理。江苏台式氦质谱检漏仪价钱
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