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氦质谱检漏仪基本参数
  • 品牌
  • 上海妤林
  • 型号
  • 齐全
  • 类型
  • 氦质谱检漏仪
  • 加工定制
  • 产地
  • 上海
  • 厂家
  • 上海妤林真空设备技术有限公司
氦质谱检漏仪企业商机

怎么确定氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度?较佳工作条件。指被检镀膜设备部件的材料出气很少,且没有较大漏孔;检漏装置本身的参数调整到较佳工作状态等。动态检漏。指不用累积法进行检漏,检漏装置本身的真空抽气系统仍正常进行抽真空,装置的反应时长小于3s,3s当中的抽气系统的时间常数是小于一秒的;较小可检。指其信号是本底噪声的两倍;漏孔的漏率。指干燥空气(100kPa的压力)经漏孔通向真空端(远远低于100kPa的压力)的漏率。对氦分压变化有反应的氦质谱检漏仪,为表征这种反应特性,较好给出检漏装置的较小可检浓度,即浓度灵敏度。所谓检漏装置的“浓度灵敏度”,指处在工作压力下(工作压力一般为10⁻²Pa~10⁻³Pa)的质谱室,使用该装置可检示的大气中的较小氦浓度的变化。而镀膜设备的氦质谱检漏仪中的“较小可检浓度”则为信号与装置噪声比为一或二时,当中氦的浓度。氦质谱检漏仪可以切实提高汽泵小机真空系统的检漏效率。杭州移动式氦质谱检漏仪定制

氦质谱检漏仪有哪些结构?电气系统,氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。质谱室,形象的说,质谱室是氦质谱检漏仪的心脏,由离子源、分析器和电气系统三个部分组成,并将冷阴极磁控规也放在其内,共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大,将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成,内部抽空,而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。苏州台式氦质谱检漏仪品牌氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法有哪些?

氦质谱检漏仪中氦质谱检漏系统的关键部件均为进口,性能稳定可靠。修长的体积,优越的性能,适用于众多行业。运用了氦质谱和逆扩散原理,采用了原装进口分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术,实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪特点:1.检测时间和响应周期非常短,可以达到2s以内;2.检测的介质比较常用,只需压缩空气即可;3.多种大漏保护模式,充分保护离子源不被氧化和暴漏大气时分子泵不被冲击。

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。妤林JQ-3300采用了氦质谱检漏仪专门使用定制分子泵,能极大地提高对氦气的感应速度,有效改善氦本底的清理时间,阻断氦气对质谱室的污染。 全自动液晶触摸彩屏显示,实现了智能自动化,操作方便、简单可靠。 离子源灯丝,采用氧化钇铱金灯丝,这是我司自主研发和生产使用的,可以使离子源寿命更长,灵敏度更高。JQ-3300所采用的离子源灯丝技术,达到国际先进水平,双灯丝,自动调氦峰自动切换。氦质谱检漏仪测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。

影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素有哪些?第1,氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔的位置不同于被检漏孔的位置,即标准漏孔与被检漏孔到检漏仪的距离相差太大,泄漏氦气的损失在途中不同,会导致进入检漏仪的氦量可比性差。第二,是进入被检漏孔与标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或无法准确给出氦气压力和分压比值,导致无法转换,此时也会产生漏率测量误差。第三,标准漏孔的标称漏率有误差。第四,是氦质谱检漏仪输出指示与泄漏率线性关系差。第五,在校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,标准漏孔的气流特性与被检漏孔不同。第六,检漏仪性能不稳定;第七,氦气纯度不稳定或有误差;第八,之后是检漏操作人员的因素,包括素质、责任感、技术水平和工作经验。氦质谱检漏仪实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换。嘉兴智能氦质谱检漏仪一台多少钱

氦质谱检漏仪要存放到阴凉、通风、没有漏雨、火灾等危险的房间。杭州移动式氦质谱检漏仪定制

氦质谱检漏仪的优点集中在以下几个方面:(1)便携性:许多小型便携式检漏仪不只灵敏度高,而且便于携带,为野外作业和高空作业提供了极大的便利。(2)高压强下检漏:检漏口的压力可高达数百帕,对于检测大系统和泄漏工件非常有用。(3)高度自动化:氦峰自动标定,零点自动调整,量程自动转换,数据自动处理,可外接打印机。全机由微电脑控制,具有选菜功能,一键完成全检漏过程。(4)完全无油的干式检漏:一些国家生产的检漏仪可以采用干式泵,达到无油蒸汽的效果,为无油系统、晶片等半导体器件的检漏提供了有利条件。为适应检漏口压力的变化和对灵敏度的不同要求,分子泵一般采用多段结构,多速。如果改变分子泵的转速,可以达到这个目的,提高检漏灵敏度。此外,反扩散检漏方法实现了高压强下检漏,也为正压吸口检漏提供了良好的条件。杭州移动式氦质谱检漏仪定制

上海妤林真空设备技术有限公司是我国氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪专业化较早的有限责任公司(自然)之一,上海妤林真空是我国仪器仪表技术的研究和标准制定的重要参与者和贡献者。公司主要提供上海妤林真空设备技术有限公司,座落于上海市嘉定区新建一路2255号,是一家专门从事氦质谱和真空产品的研发、生产和销售的企业。提供真空相关技术服务,技术交流,技术咨询以及真空管道的设计,生产以及安装服务。等领域内的业务,产品满意,服务可高,能够满足多方位人群或公司的需要。多年来,已经为我国仪器仪表行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。

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