氦检仪机械泵故障及处理：1、机械泵不动作，检查项目有：氦检仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。2、机械泵声音异常，检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。氦检仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦检仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。氦质谱检漏仪不会受到主观因素判断的影响。智能氦气检测设备厂家
氦检仪的捡漏方法有哪些？背压法（压氦法）真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气，迫使氦气进入泄漏工件，再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业：电子元器件，电子封装等。氦质谱检漏背压法优点：检测灵敏度高；可以进行批量化检测；一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好，再将器件放入加压罐内压入氦气，氦气进入有漏孔的器件内部，无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423，2328文件而定，器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空，待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测，其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件，这一批的总漏率没超过报废预定值，说明这一批合格；总漏率超过报废预定值可以取出一半，剩下的一半继续检漏，这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中，依此检漏直至检出有漏孔的器件。便携式氦检设备报价氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。
氦质谱检漏仪操作步骤：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。
氦检仪是什么？氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的氦检仪器。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声明显减小。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的优点。
氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。分体式氦检机供应厂家
为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。智能氦气检测设备厂家
氦质谱检漏仪的日常维护：1.定期检查机械泵的油位，如不足足应及时添加；如果机械泵的油是棕色、褐色或闻起来有糊状的味道，这意味着油已经恶化了。此时，应释放泵中的油，必要时，先用新油冲洗，然后注入新油。2.定期清洗或更换机械泵的排气管。如果排气管中有大量油滴，可以从氦质谱泄漏检测器中取出，然后清洗，然后用热风吹干或自然晾干。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），正压法，氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言，喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时，也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。智能氦气检测设备厂家
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