磁场探针台技术改造

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。光电流测试探针台系统。磁场探针台技术改造

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。SiC探针台各钟规格国产射频探针。

探针台应用手动探针台广泛应用于，科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。一般使用于研发测试阶段 ，批量不是很大的情况，大批量的重复测试推荐使用探卡。主要功能：搭配外接测试测半导体参数测试仪、示波器、网分等测试源表，量测半导体器件IV CV脉冲/动态IV等参数。用途：以往如果需要测试电子元器件或系统的基本电性能（如电流、电压、阻抗等）或工作状态，测试人员一般会采用表笔去点测。随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件（如IC、晶圆、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表笔点到被测位置就显得无能为力了。于是一种高精度探针座应运而生,利用高精度微探针将被测原件的内部讯号引导出来，便于其电性测试设备（不属于本机器）对此测试、分析。

手动探针台基本配置（包含探针台主体、显微镜、针座、探针等），探针台主体-可测试晶圆尺寸：4英寸weili-样品台行程：100mm*100mm-移动分辨率：~：360度-低漏电底栅接口，标准Triax输出-可选400度高温样品台显微镜-三目连续变倍体镜，LED环形照明-光学变倍总倍率45倍，物镜，总放大倍率约700倍针座-磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm-移动分辨率2um-标配4个，可装6个-漏电设计，漏电流探针低于100fA-Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆-低漏设计电探针，针尖探针探针直径标配10um，1um尺寸。 电路板各通道及载体高频高速测试。

探针台的各种应用，例如器件表征和建模，RF /微波，晶片级可靠性，故障分析，设计验证，和大功率。满足先进半导体测试市场的要求，主要用于解决故障分析，设计验证，IC工程，晶圆级可靠性以及MEMS，高功率，RF和mmW器件测试的特殊要求。系统噪声，非常精确和高度可靠的DC / CV,RF和高功率测量。用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。带互锁功能的安全光幕可通过互锁系统关闭仪器，从而保护用户免受意外高压冲击。该系统具有后门，并由互锁保护，以提供简便的初始测量设置。探针台采用高刚性显微镜龙门设计。重庆探针台加装

探针台搭配源表或者半导体参数分析仪进行电参数测试。磁场探针台技术改造

手动探针台的维护和保养1.避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭磁场探针台技术改造

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