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氦检仪基本参数
  • 品牌
  • 上海妤林
  • 型号
  • 齐全
  • 类型
  • 氦质谱检漏仪
  • 加工定制
  • 产地
  • 上海
  • 厂家
  • 上海妤林真空设备技术有限公司
氦检仪企业商机

氦质谱检漏仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括几个方面:一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。氦检仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。泰州氦气检测设备

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。关键部件均为进口,性能稳定可靠。不但灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。泰州氦气检测设备氦检仪可靠的品质保证普遍的市场应用。

氦检仪是什么?氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声明显减小。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦检仪应用于调节阀气路管道检漏:调节阀又名控制阀,在现代化工厂的自动控制中,调节阀起着十分重要的作用,如果调节阀有漏,将会严重影响设备运行,进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。调节阀检漏,阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气,如在被检测处如阀杆等,用氦检仪正压法检测,正压法检测的精度可充分满足气密性检测要求。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏,检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同时需要提供快速,清洁的检漏环境.采用氦检仪正压法模式,即在密封的气体管路中充入一定量的氦气,然后进行检漏.氦检仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式,可根据客户不同需求,选择不同的检漏方法。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。

氦检仪在压力容器中的常用方法有哪些?正压法,正压法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气,从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气,进而发现漏孔。用吸头寻找氦气时,一旦氦气被吸入,氦氦检仪就会显示出漏率值。在这种情况下,因为压力容器装置外部是一个大气压,所以充入压力容器装置内的气体压至少需要一个大气压以上。但压力不宜过高,压力过高,插在装置上的压力表或其它插件就会弹出而发生伤人等危险事故。氦质谱检漏仪的灵敏度可达10-12Pam3/s。氦气检测机注意事项

氦检仪喷氦法检测灵敏度高,可精确定位。泰州氦气检测设备

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。泰州氦气检测设备

上海妤林真空设备技术有限公司拥有上海妤林真空设备技术有限公司,座落于上海市嘉定区新建一路2255号,是一家专门从事氦质谱和真空产品的研发、生产和销售的高科技企业。 我司提供真空相关技术服务,技术交流,技术咨询以及真空管道的设计,生产以及安装。等多项业务,主营业务涵盖氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪。目前我公司在职员工以90后为主,是一个有活力有能力有创新精神的团队。公司以诚信为本,业务领域涵盖氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪,我们本着对客户负责,对员工负责,更是对公司发展负责的态度,争取做到让每位客户满意。一直以来公司坚持以客户为中心、氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪市场为导向,重信誉,保质量,想客户之所想,急用户之所急,全力以赴满足客户的一切需要。

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